Occasion SEMITOOL SST-C-621-280 #9360715 à vendre en France
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SEMITOOL SST-C-621-280 Photoresist Equipment est un outil de traitement en ligne multi-zones, liquide à chambre unique et semi-conducteur sec de pointe utilisé pour le revêtement, le développement et le décapage de photorésist. Le système est bien adapté pour les chaînes de production de 200mm et 300mm par voie humide et par voie sèche. Il est capable de produire en vrac ou en petits lots et est conçu pour minimiser les temps d'arrêt tout en réduisant les coûts de production globaux. SST-C-621-280 est équipé d'une unité de chargement entièrement automatisée pour photorésist à film sec qui peut être manipulé sans équipement spécial. La machine fermée au coffret maintient un environnement contrôlé pour assurer une qualité de film optimale et l'uniformité. Les zones de contrôle indépendantes peuvent être configurées pour une variété de température, de vitesse, de pression et de paramètres chimiques. La résine photosensible à film sec est chargée sur l'ensemble de roues rotatives de la chambre, chacune des 6 zones pouvant être ajustée indépendamment pour des paramètres particuliers du procédé. SEMITOOL SST-C-621-280 dispose d'une roue d'épurateur/développeur spécialisée, destinée à être utilisée à la fin du cycle de processus, qui élimine l'excès de solution photorésist et de particules. La roue d'épuration est réglable sur trois réglages de pression qui peuvent être configurés en fonction des besoins particuliers de l'utilisateur final. L'outil photorésist comprend également un actif de contrôle visuel propriétaire qui vérifie la qualité du film après chaque cycle de traitement. Ce processus d'inspection aide à minimiser les incohérences entre les lots et les tranches, et peut détecter et identifier les défauts de traitement, de lithographie et de particules. La fonction cryo-refroidissement du modèle refroidit les plaquettes rapidement et efficacement, contribuant à atténuer les dommages de surface causés par un traitement prolongé. SST-C-621-280 est également équipé d'un certain nombre de fonctionnalités optionnelles et avancées, telles que le logiciel d'examen des processus, le pré-processus plasma, et l'intégration auto-boucle. SEMITOOL SST-C-621-280 est conçu pour aider à rationaliser la production de semi-conducteurs en fournissant des performances fiables, une imagerie haute résolution et une précision de l'épaisseur du film. C'est un outil facile à utiliser et très sophistiqué pour les lignes de production de procédés humides ou secs, capable de produire de grands volumes avec des paramètres de contrôle de la qualité intégrés dans l'équipement.
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