Occasion SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279869 à vendre en France
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ID: 9279869
Style Vintage: 2002
System
TREBOR Magnum 610 pneumatic pump
2002 vintage.
SEMITOOL SST-C-6422-5060-U est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour la production en grand volume de plaquettes et substrats de circuits intégrés. Le système combine une plate-forme avancée à haut débit avec des processus fiables à long terme et un contrôle serré des processus, permettant une production cohérente et répétable. SST-C-6422-5060-U photorésist comprend une configuration intégrée entièrement automatisée avec des commandes de processus avancées pour surveiller et ajuster les réglages en temps réel. La machine dispose d'un bateau de traitement intégré de 400mm avec une capacité de 50 chambres qui permet de traiter un maximum de substrats ou de plaquettes de 400mm. Cela le rend idéal pour la production en grand volume de substrats ou de plaquettes avec une grande précision et répétabilité. L'outil utilise une conception brevetée de plate-forme bi-zone qui permet l'exécution simultanée de deux processus indépendants, offrant un maximum d'efficacité et de débit. Cette conception à double zone comprend une zone à haute température avec une température maximale de 915 ° C et une zone à basse température avec une température maximale de 190 ° C Les deux zones de température différentes, combinées avec des servomoteurs avancés et des régulateurs de température, assurent une cuisson précise et répétable orientée position du substrat ou de la plaquette. L'actif photorésist comprend également un modèle de vide avec deux étapes qui contrôlent à la fois le four-répit et les vapeurs de solvant ; un choix de processus ablatifs ou doux-ablatifs ; et un équipement de chambre attaché à un masque qui fournit des processus précis et reproductibles. SEMITOOL SST-C-6422-5060-U comprend également un sous-système d'imagerie haute résolution avec vitesse de balayage sélectionnable et filtres optiques pour des capacités d'alignement et de détection précises et rapides. SST-C-6422-5060-U est livré avec un logiciel de contrôle de processus avancé qui permet d'ajuster en temps réel des paramètres tels que la température de la chambre, la pression et la vitesse de rotation. Le logiciel intégré fournit au personnel sur place des mesures de performance à jour pour surveiller l'efficacité et la stabilité du processus. Cela permet de réduire les temps d'arrêt, de réduire les débris et d'améliorer la répétabilité des processus. Dans l'ensemble, SEMITOOL SST-C-6422-5060-U Photoresist System est une plate-forme de production à très haut débit qui est conçue pour fournir des résultats cohérents avec une répétabilité et un contrôle améliorés des processus. La plate-forme bi-zone brevetée de l'unité supportant jusqu'à 400 mm de wafers combinée à la machine à vide intégrée, aux servomoteurs avancés et aux logiciels de contrôle des processus permet d'augmenter le débit des branchements à plus haut rendement.
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