Occasion SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279870 à vendre en France
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ID: 9279870
Taille de la plaquette: 6"
System, 6"
TREBOR Magnum 610 pneumatic pump.
L'équipement de photorésistance SEMITOOL SST-C-6422-5060-U est un système de procédé intégré conçu pour la fabrication de puces semi-conductrices. Cette unité est conçue pour enduire avec précision les plaquettes de silicium, les cuire, les développer et les cuire en dur avec des matériaux photosensibles. Il convient à divers procédés de photorésistance, y compris la lithographie, la photolithographie, le décollage, le masquage de soudure et la gravure sélective. La machine photorésist modèle SST-C-6422-5060-U se compose de quatre chambres de plaquettes indépendantes : Soft-bake, Coater, Developer, et Hard-bake. Chaque chambre est logée dans un fond de chambre susceptible de contenir et de maintenir un environnement contrôlé. Une tête de douche intégrée assure un revêtement précis et uniforme des plaquettes avec de la résine photosensible. L'outil est également équipé de dispositifs de chauffage, de refroidisseurs, de niveaux de vide et de capacités d'échappement. La chambre Soft-bake maintient une température et un environnement précisément contrôlés pour préparer la surface de la plaquette avant l'application de la résine photosensible. La pompe Coater est un atout de filtration précis qui assure un revêtement uniforme et cohérent de la résine photosensible. La chambre de développement est contrôlée en température, ce qui permet au photorésist de guérir et de se polymériser. Le Hard-bake Chamber utilise des dispositifs de chauffage pour durcir le matériau photorésist appliqué pendant les chambres Soft-bake et Developer. Le modèle comprend également une variété de commandes numériques, y compris des écrans tactiles faciles à naviguer pour le contrôle de l'équipement et la programmation. Cela permet de programmer le stockage et la récupération des recettes avec les paramètres de processus de chaque chambre précis à 0,1 %. Le système offre également une connectivité complète avec le logiciel SEMITOOL Design pour le téléchargement de paramètres de processus. L'unité de photorésistance SEMITOOL SST-C-6422-5060-U dispose d'une machine de commande de mouvement pour une livraison chimique précise, d'une buse flottante de haute précision qui fournit un revêtement uniforme et d'un outil de livraison chimique de haute précision. Cet atout offre également une stabilité de processus et une uniformité de substrat à chaque répétition. En résumé, SST-C-6422-5060-U modèle photorésist est un équipement de procédé intégré précis, polyvalent et convivial conçu pour la fabrication de puces semi-conductrices. Il est capable d'enduire, de faire tendre, de développer et de faire durcir des plaquettes de silicium avec des matériaux photosensibles avec des paramètres de processus précis, assurant la précision et la cohérence à chaque répétition.
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