Occasion SEMITOOL ST 260 #9263895 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
SEMITOOL ST 260 est un équipement de photorésistance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour réaliser des applications polyvalentes telles que le nettoyage des plaquettes, les bandes de résistance et le nettoyage des pulvérisateurs. Ce système peut supporter des plaquettes de 2 ou 4 pouces. Il se compose de quatre composants unitaires : une armoire de traitement humide, une cartouche de procédé chimique, une station de rinçage et une machine à eau DI. L'armoire de traitement humide est conçue pour traiter de manière fiable les plaquettes avec des procédés de dépôt nécessitant une gamme de chimies, de températures et de pressions. Il dispose d'une conception efficace pour un contrôle thermique rapide, ainsi que de dispositifs de sécurité avancés tels que la surveillance automatique des vapeurs et du débit. La plage de température de l'armoire est comprise entre 5 ° C et 85 ° C, avec une uniformité de température ± 2 ° C Les cartouches de procédés chimiques permettent aux utilisateurs de traiter leurs plaquettes avec une large gamme de produits chimiques et de températures. La station de rinçage permet de rincer des plaquettes de haute précision et de mélanger des opérations jusqu'à huit plaquettes simultanément. L'outil d'eau DI produit constamment la qualité de l'eau DI pour les contrôles photorésistants les plus vitaux. Pour l'élimination des résines photosensibles, SEMITOOL ST-260 est conçu avec la technologie avancée des bandes de résines. L'actif peut traiter jusqu'à 2 ou 4 pouces de plaquettes. Le procédé est effectué à 1310 nm ou à des longueurs d'onde plus courtes tant pour la diffusion que pour le dénudage photorésist. Le taux de bande et la température sont programmables pour des résultats optimaux. Les capacités de rampe thermique et de rampe minimisent les dépassements de température. Pour l'application de la résine photosensible, le modèle est également conçu avec une technologie avancée de propreté des pulvérisateurs. Ce procédé permet d'éliminer les résidus chimiques et particulaires des surfaces des plaquettes avant de résister au revêtement. La plage de température pour le nettoyage des pulvérisateurs est jusqu'à 215 ° C avec un temps de nettoyage jusqu'à 45 minutes. ST 260 est un équipement de traitement de résines photosensibles fiable pour diverses applications exigeantes en nanotechnologie. Les fonctionnalités avancées du système permettent aux utilisateurs de produire de manière cohérente des résultats de haute qualité, tandis que sa facilité d'utilisation le rend adapté à toute ligne de processus industrielle.
Il n'y a pas encore de critiques