Occasion SEMITOOL ST 2600 #9216873 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
ST 2600
ID: 9216873
Spin rinse dryer (SRD).
SEMITOOL ST 2600 est un équipement de photorésistance conçu pour le traitement autonome et intégré pour la production de 300mm. Ce système est construit avec des pièces modulaires pour une réparation et un entretien simples afin de réduire les temps d'arrêt. Il est équipé d'une gamme de fonctionnalités d'automatisation et de sécurité qui en font une solution idéale dans les emballages Chip Scale Packages (CSP), SiP et 3D. Le ST 2600 dispose d'un scanner manuel à rayonnement à résolution nanométrique dont la répétabilité est inférieure à 1 µm pour l'alignement de précision et l'exposition à la voie. Il a également la possibilité d'installer une unité d'auto-alignement pour la lithographie étendue et les tests. Son exposition à un seul passage élimine l'ombre causée par le passage multiple avec la technique de masquage du pochoir. Ceci réduit considérablement la limite de motif et le rendement de défaut dû à l'aberration optique de la technique précédente de masquage. Les lampes UV de 350nm 365nm de la machine SEMITOOL ST 2600 offrent un rendement énergétique réglable et une résolution de contraste élevée avec une exposition efficace de tous les motifs ayant une large gamme de formes et de tailles. L'outil bénéficie d'une grande durabilité et d'une longue durée de vie. Le Stripper Photoresist réduit le temps de gravure et augmente le débit des installations. La configuration standard de la buse permet un revêtement de résistance uniforme avec l'application de la tête de douche tournante. L'actif ST 2600 intégré au logiciel Nanotech intègre le contrôle des processus, l'acquisition de données et la surveillance des produits. Il peut être interfacé avec des produits de métrologie optique et de proximité pour des mesures d'épaisseur de film in situ. De plus, le modèle automatisé intègre tous les programmes prédéterminés avec un contrôle de processus intelligent pour une précision répétable. Le régulateur de température assure un contrôle précis de la température de l'unité de résistance. Le mode unique et intégré de nettoyage des impulsions d'air réduit le temps de cycle du programme, élimine l'utilisation d'eau et de solvant. SEMITOOL ST 2600 peut modeler jusqu'à 69 « de diamètre avec un maximum de 8 » par plaquette en utilisant la fonction d'exposition uniforme. Il offre également des caractéristiques de sécurité environnementale en incorporant un filtre sur l'air d'échappement pour la purification et le recyclage de l'air avec des équipements de surveillance du CO2. En conclusion, ST 2600 est un système de photorésistance robuste et fiable. Il est facile à entretenir et a une excellente répétabilité avec un haut degré de sécurité. Cette unité est conçue pour fournir la plus grande précision et productivité de la manière la plus économique.
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