Occasion SEMITOOL ST 280 #9160074 à vendre en France

SEMITOOL ST 280 est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour des applications dans les chambres de traitement plasmatiques et chimiques humides. Le système offre des capacités de cycle multi-étapes avec un contrôle précis de la température, une grande uniformité et un contrôle optimal du processus. Ce modèle est particulièrement utile dans le traitement en chaîne de production de substrats de 75-200 µm dans le CMOS courant et pour la technologie MEMS. Le ST 280 est piloté par un puissant contrôleur logique programmable (PLC) et équipé d'un réseau de détecteurs de température à haute température et multipoints (RTD) pour le rallumage et le refroidissement rapides des chambres de procédés. Grâce à des systèmes efficaces et performants de dosage des vapeurs et de contrôle des gaz inertes, les composants usinés de précision de l'unité constituent une partie fiable et essentielle du processus de production. La machine dispose d'un réseau de capteurs porte-substrat en quatre points avec une caméra intégrée pour l'alignement précis et répétable du substrat dans la chambre. L'outil d'épuration et de nettoyage hautement modulaire maintient une interface snubber idéale, augmentant encore la fiabilité de l'actif. Pour un traitement optimal du substrat, SEMITOOL ST 280 utilise une conception de chambre standard dans l'industrie. Les zones x, y et température produisent une excellente homogénéité, et l'homogénéité latérale centre-bord de la plaquette est typiquement meilleure que 0,25 ° C L'anneau pivotant fournit une variation supplémentaire d'uniformité de 0,25 ° C dans la direction z. Les capacités de mélange de gaz du modèle permettent de créer des profils de pression et de débit de gaz personnalisés. Ceci, ainsi qu'une grande variété de matériaux de substrat, permet d'utiliser l'équipement pour une large gamme de procédés de gravure et de dépôt. ST 280 supporte le contrôle de la température de la plaquette de la température ambiante à 400 ° C avec 6 ° C de stabilité. La haute uniformité thermique permet aux fabricants de réduire les fenêtres de processus et d'obtenir une répétabilité des processus et une productivité inégalée, des températures de processus plus basses et des rendements plus élevés. Le système supporte une variété d'épaisseurs de photorésist au niveau de la production. En outre, l'unité utilise un élévateur à mandrin motorisé 4 niveaux standard de l'industrie, éliminant le besoin d'autres modifications de mandrin, ainsi qu'une plaque de mandrin universelle, une caractéristique brillante qui élimine le besoin de fixations propres au processus. En résumé, SEMITOOL ST 280 est une machine fiable et efficace qui offre une précision et une répétabilité supérieures pour les processus photorésistants dans les chambres de gravure de plasma et de traitement chimique humide. L'outil peut exécuter une grande variété de procédés et est bien adapté au traitement en chaîne de production de substrats de 75-200 µm. Il offre un contrôle supérieur, l'uniformité de la température, et la répétabilité des processus qui produisent des économies et des rendements.