Occasion SEMITOOL STI 260D #123183 à vendre en France
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SEMITOOL STI 260D est un appareil de gravure chimique conçu pour le traitement des photorésistances et la production à faible volume. Le système est conçu principalement pour être utilisé dans la gravure et les procédés chimiques tels que la gravure ionique réactive (RIE) et la planarisation mécanique chimique (CMP) et peut traiter des substrats de différentes tailles et types. Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 300 mm de diamètre avec une vitesse de gravure maximale allant jusqu'à 1 mm/min et peut manipuler diverses compositions photorésistantes. STI 260D comprend une chambre à vide entièrement en aluminium, robuste mécaniquement, dotée d'un robinet de refroidissement intégré et contrôlé par la température. L'unité dispose d'un ensemble d'électrodes multi-faces à verrouillage rapide, permettant un échange d'électrodes rapide et facile sans nécessiter l'ouverture de la chambre. Une machine à électrodes linéaires à trois axes permet un contrôle précis de l'électrode, minimisant l'érosion des matériaux et assurant une excellente uniformité de gravure. La chambre est également scellée par une plaque de Faraday optionnelle, qui minimise l'accumulation de charges, réduit la distorsion de motif et améliore l'uniformité de gravure. Les capacités de SEMITOOL STI 260D sont encore améliorées par un outil avancé de contrôle des processus fournissant une gamme de fonctionnalités, y compris une interface utilisateur intuitive, un suivi en temps réel des paramètres des processus, et un atout mémoire multi-programmes, permettant à l'opérateur de stocker et de rappeler des profils de processus spécifiques pour maximiser le débit et l'efficacité. Le modèle offre une programmation simple processus-recette avec validation de traitement visuel, permettant à l'utilisateur de suivre l'avancement et la qualité du matériel gravé en temps réel. STI 260D est un équipement efficace et fiable pour le traitement des résines photosensibles, avec une conception rentable qui répond aux exigences de la production à faible volume et de la recherche et du développement. Le système est équipé d'une unité de sécurité complète pour protéger les utilisateurs, les opérateurs et l'environnement des processus, et peut fournir des résultats efficaces et cohérents avec un temps de retournement rapide.
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