Occasion SEMITOOL STI 260D #9206432 à vendre en France

SEMITOOL STI 260D
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
STI 260D
ID: 9206432
Wafer washer / Dryer.
SEMITOOL STI 260D est un équipement de photorésistance conçu pour être utilisé dans les processus de photolithographie. Il s'agit d'un processeur à gravure humide verticale à deux chambres d'une capacité maximale de 200mm2. Le système est équipé d'une unité d'agitation sous vide sous vide (SMVAS) pour assurer une dissolution uniforme de la résine photosensible pendant le processus de gravure. Les ondes SMVAS traversent la chambre de gravure à une fréquence de 4 Hz et une hauteur d'onde de 25 mm, entraînant une dissolution très uniforme de la couche photosensible. La machine d'agitation sous vide submergée du processeur permet l'utilisation d'un large éventail de procédés de gravure, tels que la gravure à base de chlore, la gravure à base d'ammoniac, l'acide phosphorique à gravure humide et la gravure à l'ozone. En outre, le SMVAS est conçu pour réduire la gravure arrière qui est généralement expérimenté dans de nombreux processus de gravure. Cela le rend idéal pour une utilisation dans des applications à haute résolution. Le processeur est équipé d'un contrôleur 5 étapes et est logé dans une enceinte standard de 19 pouces, 10U porte-rack. Le contrôleur en 5 étapes est un contrôleur de processus avancé contrôlé par ordinateur qui fournit un contrôle de processus facile à utiliser, précis et fiable requis pour la production de photolithographie moderne d'aujourd'hui. Le contrôle de chaque étape est réalisé indépendamment à l'aide d'une interface logicielle intuitive. Cela permet le haut niveau de répétabilité et de précision requis pour les applications de photolithographie les plus avancées d'aujourd'hui. Le support de substrat du processeur peut contenir un maximum de 200mm2, ce qui le rend idéal pour les lots de production plus grands que ceux habituellement vus dans le laboratoire. De plus, la température du graveur peut être ajustée manuellement ou par le contrôleur pour obtenir des résultats optimaux. L'outil dispose également de dispositifs de sécurité qui vont automatiquement arrêter le gaz, les solvants et les produits chimiques de gravure avant qu'ils ne deviennent un danger. STI 260D est un excellent choix pour tout processus de photolithographie. Son contrôleur en cinq étapes et le SMVAS permettent un contrôle précis, fiable et répétable des processus, tandis que ses caractéristiques de sécurité garantissent un lieu de travail sûr et efficace. L'actif est idéal pour les fournées de production de 200mm2 ou moins et est logé à 19 pouces standard, 10U la clôture.
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