Occasion SEMITOOL STI 870D #9307758 à vendre en France
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ID: 9307758
Rinser / Dryer
Handle substrates diameter: 3"-6"
Dual stack
Wafer cassettes, 6"
(2) Rotors: H BAR IN, 2800 RPM MAX, BAL 0-25, A194 60MB
Operation / Maintenance manual.
SEMITOOL STI 870D est un équipement de photorésistance conçu pour permettre l'emballage microélectronique, l'amincissement et le niveau de plaquettes MEMS/NEMS. Il fournit une plate-forme intégrée, de haute qualité et économique pour la manutention des matériaux de substrat, le traitement photolithographique et la micro-fabrication. Le système se compose de plusieurs composants, dont une station humide, une chambre de pré-nettoyage, une chambre de pré-cuisson, une chambre de micro-fabrication et une unité de métrologie. La station humide est utilisée pour appliquer des photorésist à couches minces et liquides sur les surfaces des substrats, permettant un alignement et un dépôt précis du substrat. La chambre pré-propre utilise une combinaison de produits chimiques et d'abrasion mécanique pour éliminer les contaminants de surface du substrat. La chambre de pré-cuisson utilise alors une technique de dépôt chimique en phase vapeur pour évaporer toute matière organique restante sur les substrats. La chambre de micro-fabrication utilise alors un laser de forte puissance pour modeler la résine photosensible en millions de caractéristiques individuelles du circuit. Enfin, la machine de métrologie mesure la précision et la résolution des caractéristiques du circuit. L'outil est conçu pour être conforme à l'industrie des semi-conducteurs et est capable de reproduire des formes complexes, une variance spectaculaire de la taille des caractéristiques et une précision géométrique intense. STI 870D dépassement de l'efficacité, du délai de mise sur le marché et du contrôle des coûts des procédés de micro-fabrication électronique. Il dispose d'une gamme complète de logiciels de suivi des actifs et de contrôle des processus, fournissant aux ingénieurs les données en temps réel pour prendre des décisions éclairées. Le modèle est peu entretenu, peu coûteux et peut facilement être modifié pour traiter différents substrats et différentes tailles de fonctionnalités. L'équipement est également extrêmement précis et reproductible, ce qui le rend idéal pour une production à haut volume. Dans l'ensemble, SEMITOOL STI 870D est un système de photorésistance avancé conçu pour permettre l'emballage et la fabrication de microélectroniques efficaces et rentables. Il offre une plate-forme intégrée pour la manutention des substrats, le traitement photolithographique et la micro-fabrication, offrant aux ingénieurs une haute résolution et une précision géométrique.
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