Occasion SEMITOOL WSST-408A #9401359 à vendre en France

SEMITOOL WSST-408A Photoresist Equipment est un système de bande humide entièrement automatisé et monobloc. Cette unité est conçue pour décaper la résine photosensible d'une seule plaquette dans une atmosphère contrôlée, en utilisant des solutions de décapage programmables et contrôlées par processus. La machine peut manipuler jusqu'à 400 mm de plaquettes dans des tailles incluant 8,12, ou 15 pouces (200,300, ou 350mm). L'outil comprend un réservoir de stockage, qui contient 40 litres de solution de strippage et une pompe doseuse à température contrôlée, avec quatre canaux et cinq aimants d'agitation. Le dosage chimique est précisément contrôlé avec un contrôleur de pompe numérique, tandis qu'un contrôleur programmable gère les étapes du programme. La chambre de réaction en acier inoxydable est équipée de quatre cloisons de concentration et d'un P21 atout de circulation d'air, ainsi que d'une lampe UV/ozone et de systèmes d'injection de gaz. Un modèle automatisé de manutention des plaquettes transporte les plaquettes à l'entrée et à la sortie de la chambre de réaction. L'équipement dispose également d'une pompe à vide TurboX pour l'échappement automatisé des liquides et des gaz. WSST-408A peut barrer la résine photosensible avec une variété de solutions, telles que l'acide chlorhydrique, l'acide sulfurique, l'hydroxyde d'ammonium, le persulfate de potassium et le peroxyde d'hydrogène. Il est également capable de décaper des plaquettes à des températures allant jusqu'à 60 ° C, ce qui permet un degré plus élevé de propreté de la surface des plaquettes et une plus grande capacité à décaper des résistances plus difficiles. Le résultat final est une plus grande uniformité, des rendements accrus et un débit plus élevé. Le système est conçu pour la flexibilité du processus, avec une interface utilisateur du logiciel simple, permettant aux opérateurs d'ajuster les paramètres en fonction de l'évolution des conditions du processus. Les nombreuses fonctionnalités offertes par SEMITOOL WSST-408A Unit en font un choix idéal pour les procédés de décapage photorésist à haut rendement.