Occasion SEMITOOL WSST #9097197 à vendre en France

SEMITOOL WSST est une suite de systèmes de traitement de résines photosensibles conçus pour répondre à un large éventail de besoins en lithographie. L'équipement se compose de trois composants principaux : la chambre de traitement principale, la chambre de verrouillage de charge et la baignoire. La chambre principale est conçue pour le dépôt, la gravure et le nettoyage des couches de résines photosensibles lors de la fabrication des semi-conducteurs. Il est équipé d'une turbo-pompe pour le pompage sous vide à grande vitesse et a la capacité de supporter un large éventail de processus, de températures et de pressions. La chambre de verrouillage de charge est utilisée pour transférer des plaquettes prétraitées dans une atmosphère inerte avant d'entrer dans la chambre principale. Cette chambre sert également de tampon pour maintenir des conditions optimales de vide à l'intérieur de la chambre principale. Le module de baignoire est un système de pulvérisation basse pression pour nettoyer les plaquettes entre les étapes de traitement et peut également être utilisé pour le nettoyage de la piste et le revêtement d'étain dans les applications avancées. L'unité est en outre équipée de deux contrôleurs informatiques indépendants pour surveiller et contrôler les paramètres du processus. Les contrôleurs sont interfacés à la chambre principale, à la chambre de serrure et à la baignoire, et offrent un accès à une variété de paramètres, y compris les températures de la chambre, les débits de gaz et les temps de traitement. Les contrôleurs sont également équipés de systèmes d'allumage par plasma et fournissent un enregistrement complet des données, un enregistrement par défaut et l'affichage en temps réel des paramètres du processus. WSST fournit des solutions fiables et rentables de lithographie et de traitement photorésist pour une variété de composants et d'applications de semi-conducteurs. Il est équipé de systèmes innovants de gestion et de contrôle des processus qui fournissent des résultats reproductibles et uniformes pour le dépôt, la gravure et le nettoyage des photorésistances, ainsi que des procédures sophistiquées de suivi des performances et de diagnostic des défauts. La machine est conçue pour une flexibilité supérieure et assure une performance optimale de la résine photosensible avec un contrôle serré des processus.