Occasion SEMITOOL WSST #9400944 à vendre en France

SEMITOOL WSST est un équipement de photorésistance conçu et fabriqué par SEMITOOL inc. et sorti en 2000. C'est un système automatisé de photolithographie submicronique avec une variété de photorésists et de caractéristiques. Cette unité est structurée avec un scanner programmable qui peut contenir jusqu'à 28 substrats de 12 pouces et 6 systèmes avec deux fois la vitesse de SEMITOOL précédente plate-forme photorésist le WFST. La machine couvre un spectre d'applications allant du nettoyage des plaquettes, à la gravure humide/sèche, et à la bande de résine photosensible. La gravure de plasma anisotrope fournit une sélectivité de couche élevée et la technologie avancée de suspension 3D peut permettre une épaisseur de film uniforme même avec des substrats concaves ou non planaires. WSST est optimisé pour les processus de fond de ligne comme la réparation de masque de contact, la gravure d'isolation multicouche et l'imagerie directe arrière. Il permet d'ajouter des performances supplémentaires en plus du haut niveau de fiabilité fourni par SEMITOOL. Ses composants sont des mécaniques fermées à air complet, qui offrent des vibrations minimales, pour assurer un environnement thermique équilibré, un fonctionnement efficace et une fiabilité exceptionnelle. En outre, SEMITOOL comprend des options intégrées telles que des applications photorésistantes à haut courant et une capacité unique de balayage haute définition. Il peut accueillir une gamme de solutions différentes ainsi qu'un outil supplémentaire Track Out/Track In (T/T) pour la production d'un seul substrat et une voie transactionnelle optionnelle de produit (TPL) pour la compensation intégrée des dérives d'arc, de warpage et de température globale. En outre, SEMITOOL WSST est conçu pour être utilisé dans un environnement de salle blanche de classe I, avec une température max de 135 ° C et une épaisseur maximale de photorésist de 3500 angströms. Sa taille est intégrée avec des matériaux de processus automatisés, un contrôle informatique et une conception compacte avant-arrière sécurisée, qui est installé avec une serrure de 25 'de long standard et un environnement sans poussière d'azote pour assurer la propreté immaculée. L'actif photorésist du WSST permet de traiter toute sa gamme de produits photorésistants, de masques de contact et de MOEMS sans intervention humaine. Il offre une variété de caractéristiques pour répondre à des exigences de processus spécifiques avec moins de frais généraux. Les caractéristiques et la gamme d'applications en font un choix idéal pour tout processus de lithographie submicronique.