Occasion SEMITOOL WST 172 #142238 à vendre en France

L'équipement de photorésistance SEMITOOL WST 172 est un système de revêtement de pulvérisation automatisé le mieux adapté au traitement des plaquettes semi-conductrices/MEMS. Il est hautement configurable et supporte une large gamme de produits chimiques, ayant la capacité de développer des revêtements avec une plage d'épaisseur de 0,1-4 μ m avec une uniformité de 3-4 %. L'unité peut traiter jusqu'à huit plaquettes à la fois et est conçue avec une plate-forme qui peut être utilisée avec une variété de modules de processus, y compris pré-nettoyer, revêtement de pulvérisation, développeur et épurateur. La machine utilise un collecteur de distribution de buses à débit direct intégré pour générer une épaisseur de revêtement uniforme avec une haute résolution. L'unité principale est équipée d'un Robot End Effector (REE), d'une buse de pulvérisation, d'actionneurs et d'un capteur. La buse est réglable, pour faciliter le contrôle de la taille des gouttelettes, de l'angle de pulvérisation et de la pression de pulvérisation, ainsi que le positionnement du motif de pulvérisation. Le REE est entraîné mécaniquement et fournit une configuration de diffusion réglable pour obtenir une uniformité de pulvérisation optimale. L'aérosol est uniformément réparti de manière contrôlée afin d'assurer des résultats précis, cohérents et reproductibles. Le WST 172 présente une rotation intégrée à deux plateaux pour aligner deux ou plusieurs plaquettes pour le revêtement, avec un temps de traitement d'environ 15 minutes par plaquette. D'autres caractéristiques comprennent un contrôle avancé des motifs pour produire des motifs précis, un ajustement en plusieurs étapes pour les taux de pulvérisation programmables, un actif de surveillance des particules pour valider les revêtements, et un module d'azote pour l'ombre ambiante inerte et contrôlée pendant le processus. Le modèle a une interface utilisateur dédiée et des alertes de tout problème au cours du processus. L'équipement fonctionne avec un procédé de pulvérisation à basse température, ce qui le rend adapté à une utilisation avec différents substrats, y compris les plastiques, le verre et le GaAs. Le procédé de pulvérisation aide à réduire les solvants organiques dangereux, réduisant ainsi le risque de catastrophe et évitant les dommages inutiles. SEMITOOL WST 172 est également capable de coordonner avec d'autres machines SEMITOOL, permettant des processus encore plus rapides et plus efficaces. Dans l'ensemble, le système de photorésistance WST 172 offre des niveaux élevés de précision et de répétabilité et est adapté aux applications allant du simple wafer au traitement à grande échelle. L'unité assure un haut degré d'uniformité, un meilleur contrôle des procédés et une réduction des déchets, ce qui en fait un choix idéal pour les applications de semi-conducteurs et de microfabrication.