Occasion SEMITOOL WST-306 #9379931 à vendre en France

SEMITOOL WST-306 est un équipement de décapage de photorésist conçu pour la bande et le nettoyage de photorésist à partir de substrats. Il fonctionne sur le principe de l'injection d'une hydroxyde de sodium et d'ondes ultrasonores dans l'enceinte. Le système est typiquement utilisé pour le décapage et le nettoyage de photorésist dans la fabrication de semi-conducteurs. WST-306 dispose d'une chambre à ciel ouvert chauffée jusqu'à 108 ° C, qui permet des bains chimiques chauffés et une cavitation turbulente. L'unité est équipée de trois canaux, chacun pour une température et un mode de fonctionnement différents. La machine dispose également d'un manomètre conçu pour effectuer la pressurisation et la dépressurisation des cavités avec un contrôle précis. Le manomètre est utilisé pour maintenir un niveau de pression spécifié dans le processus de bande de résiste. SEMITOOL WST-306 peut accueillir différentes tailles de substrats photorésistants jusqu'à 200mm de diamètre. Il est également compatible avec une variété de types de photorésist, y compris AZ-, SU8- et ArF-photorésist. L'outil comprend une plate-forme de levage rotative de précision qui assure un mouvement de levage mécanique lisse, ce qui peut éliminer les dommages aux substrats délicats. La plate-forme d'ascenseur permet un accès facile à la chambre pour le nettoyage et l'entretien. L'actif peut être actionné manuellement ou par une séquence de programme automatique. En mode manuel, les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de paramètres de cycle pré-configurés. Il dispose également d'une option programmable de stockage de cycle qui permet de stocker jusqu'à 8 profils de processus définis par l'utilisateur et de les rappeler pour une exécution ultérieure. WST-306 est idéal pour les applications qui impliquent le décapage et le nettoyage de photorésist des substrats semi-conducteurs. Il est très efficace et fiable, permettant un processus cohérent et reproductible. Le dispositif nécessite également une maintenance minimale, ce qui le rend plus rentable.