Occasion SEMITOOL WST-306MI #137518 à vendre en France

SEMITOOL WST-306MI est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour la production de photolithographie à haut volume. Doté d'une conception robuste avancée, WST-306MI est capable de propulser des plaquettes jusqu'à 300mm avec une précision de température et une répétabilité de 0,1 ° C Ce système se compose d'un banc humide et d'un processeur de transport aseptique (ATP) pour le traitement des photorésistances et autres liquides. SEMITOOL WST-306MI dispose d'un convoyeur intégré qui permet l'entrée et la sortie efficaces des pièces de travail, y compris les supports de substrat et les fixations d'enlèvement de tête de lit. En outre, l'unité est conçue avec de multiples options d'évacuation pour maximiser la durée de vie de la chimie, tels que les filtres à base de carbone, les systèmes de traitement photochimique et la filtration en ligne dégazeur. WST-306MI prend en charge des applications telles que photorésist positif et négatif, décapage, développement, modélisation et masquage avec des produits chimiques humides et des gaz de développement. Il dispose d'une interface utilisateur intelligente qui permet à un opérateur d'exécuter une séquence en utilisant des programmes prédéfinis ou des recettes définies par l'utilisateur. SEMITOOL WST-306MI offre également des interfaces de salle blanche standard et peut être surveillé à distance avec son unité de surveillance intégrée. WST-306MI fournit un module de procédé photorésist en 5 étapes, qui comprend les procédés de prébake, de post-bake, de post-exposition, de post-strip et de post-extraction. Il comprend également la surveillance des capteurs de température dans le flux de transport du substrat et la surveillance des capteurs internes de l'armoire de procédé. Dans l'ensemble, SEMITOOL WST-306MI est une machine de photorésistance avancée avec un flux de travail efficace qui peut traiter de manière fiable différents photorésistes, produits chimiques et gaz de développement. Sa séquence de traitement automatisée, son interface conviviale et sa surveillance intégrée permettent d'obtenir d'excellents résultats et un fonctionnement efficace. L'outil est adapté à des applications à haut volume dans les industries semi-conductrices et optoélectroniques.