Occasion SEMITOOL WST-306MI #81412 à vendre en France
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ID: 81412
Taille de la plaquette: 6"
Spray solvent strip tool, 6"
Power: 208vac, 60 Hz, 30 amps
Dimensions: 36" wide x 33" tall x 59" tall
System has a 4" clam shell and rotor (810R0014-01)
2 tanks (bulkhead in between)
One side has 2 tank (fresh and reclaim)
Heater controller are Omeron
SEMITOOL ITS controller
270 matted bowl (max size 6" wafers)
Bulk fill option
Dimensions: 36" wide x 33" tall x 59" tall.
SEMITOOL WST-306MI Photoresist Equipment est un système conçu pour la fixation de haute précision de matériaux photorésistes sur des substrats. Cette unité est parfaitement adaptée aux applications dans les industries des semi-conducteurs et de la microélectronique, où la précision et la précision sont primordiales. WST-306MI est un outil à chambre unique qui dispose d'un aligneur de projection (PA), qui supporte l'échange de plaquettes et de masques et peut effectuer des images d'ombre alignées avec précision sur des plaquettes allant jusqu'à 300mm. La machine dispose également d'un outil intégré de surveillance de la contamination (CMS), qui permet de surveiller les particules et de nettoyer les capteurs dans la chambre de processus pour améliorer la propreté et l'assainissement. En outre, l'actif supporte les processus de photorésistance profonde UV, i-line et deep-UV/i-line. La chambre de procédé de SEMITOOL WST-306MI est équipée d'une lampe en vrac sans produit chimique à basse pression (ULPCF) et d'un revêtement photorésistant en céramique quartz. La lampe en vrac sans produit chimique à basse pression (ULPCF) est conçue pour fournir un rayonnement UV homogène et profond sur le substrat, ainsi qu'un contrôle précis et précis de l'emplacement et de l'intensité de la lumière. Le revêtement photorésistant en céramique quartz utilise un dispositif de chauffage intégré, une micro-pompe et un ventilateur pour assurer une répartition uniforme du revêtement de résistance, ce qui est essentiel pour des résultats précis. Les capteurs de température et de débit intégrés permettent un contrôle précis de la température et de la viscosité du matériau photorésist. WST-306MI supporte également divers procédés de photorésist spécialisé, y compris l'ultra-violet positif, l'ultra-violet négatif, la photorésist bicouche et la photorésist monocouche. Il est également pré-configuré avec un boîtier de contrôle thermique spécial, qui assure une résistance uniforme à toutes les températures. Le modèle est compatible avec la plupart des types de matériaux photosensibles et dispose d'une interface logicielle intuitive pour facilement configurer, surveiller et contrôler le processus. SEMITOOL WST-306MI fournit un procédé de photorésistance fiable, efficace et précis, particulièrement bénéfique dans les applications industrielles. La précision et l'uniformité du processus sont sans pareil, tandis que la facilité d'installation et le fonctionnement intuitif le rendent adapté aux applications à haut débit. Cet équipement est un choix idéal pour les applications de photorésistance les plus exigeantes.
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