Occasion SEMITOOL WST-308 #9155218 à vendre en France
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ID: 9155218
Solvent spray system
3 Phase
Current: 40 A
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 V
2010 vintage.
SEMITOOL WST-308 est un équipement complet de traitement de résines photosensibles capable de fournir un contrôle des processus extrêmement serré, une répétabilité précise et des tolérances pour les applications de production. Il fournit une variété de photorésistes traités par voie humide et sèche qui peuvent être utilisés en lithographie optique et de faisceau d'électrons. Le SEMITOOL WST 308 est doté d'un système de processus entièrement automatisé et monobloc qui permet de nettoyer avec précision les couches photorésistantes, les pâtisseries et le nettoyage du bord de l'aube. Le revêtement photorésist est contrôlé par un Jet Rotatif Spray Coater™ précis et utilise une buse rotative propriétaire pour atomiser la photorésist tout en pulvérisant sur la plaquette. L'unité dispose d'un contrôle indépendant de la température et du profil de vitesse pour une épaisseur, une répétabilité et une adhérence précises. Les bords de la plaquette sont pré-edgebead nettoyer et à bord sec retravailler avec l'intégré Edge-Bead Removal Machine (EBRS) ™. WST-308 outil est équipé d'un actif avancé de sublimation sous vide qui fournit une uniformité précise et des temps d'exécution rapides. Il dispose d'un chauffage à deux étages pour stabiliser la température et faciliter le point de verrouillage par évaporation. Le modèle de cuisson comprend une fonction de récupération pour s'assurer que les paramètres précis du processus sont maintenus entre les charges successives. L'équipement traite standard, résiste aux substrats revêtus d'une gamme de fournisseurs. Les profils photorésist et les recettes peuvent être stockés et rappelés pour une utilisation répétée. Le système répond à des paramètres rigoureux de contrôle des processus et offre une excellente uniformité et répétabilité. L'unité est capable de remplacer les techniques manuelles pour les processus critiques tels que le dénudage et le nettoyage, ce qui peut conduire à une amélioration des performances et du rendement du procédé. La machine dispose également d'une variété d'options et de dispositifs de sécurité, dont un moniteur de pression atmosphérique, un bain d'huile isolé et un dispositif de sécurité automatisé. WST 308 est conçu pour répondre aux exigences d'une large gamme d'applications photorésistantes, offrant des performances robustes et précises. Cet outil offre une combinaison exceptionnelle de flexibilité, de performance et de fiabilité pour des processus de production de volume moyen à élevé.
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