Occasion SEMITOOL WST-308A1CCBT #293660328 à vendre en France

ID: 293660328
Style Vintage: 1995
System 1995 vintage.
SEMITOOL WST-308A1CCBT est un équipement de photorésistance conçu pour des applications avancées de lithographie de semi-conducteurs. Ce système a été développé pour permettre des rendements plus rapides, plus précis et plus élevés des procédés photorésistants sensibles utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cette unité est équipée d'un loadlock monobloc, d'une pompe moléculaire turbo, d'un régulateur de température numérique et d'une machine de sécurité entièrement emboîtée. Il dispose d'un outil d'alignement optique avancé pour assurer un positionnement précis et reproductible des plaquettes pour les processus de lithographie. De plus, SEMITOOL WST-308A-1CC-BT dispose d'un contrôleur logique programmable (PLC) qui permet aux utilisateurs de configurer des recettes individuelles et de gérer les données des journaux d'actifs. Pour assurer un environnement stable et sûr, le modèle atteint également une pression de base maximale de < 2,5 x 10-6 Torr. Utilisé pour le traitement des photorésistances, l'équipement WST-308A1CCBT offre une plate-forme inclinée de 45 ° qui aide à réduire les forces statiques et dynamiques pour atteindre des débits plus élevés. Le système intégré de bateau de wafer peut accueillir jusqu'à 8 wafers avec un loadlock monobloc. L'unité dispose d'une machine avancée de contrôle de la température des plaquettes qui garantit des températures uniformes des plaquettes de +/- 0,5 ° C, ce qui est essentiel pour une exposition constante aux photorésistances. L'outil dispose également de chambres dipolaires et bipolaires réglables pour un niveau de photorésistance et une uniformité variables. De plus, les sous-systèmes rapides atteignent des vitesses allant jusqu'à 1 800 ° C/min pour que chaque cycle litho produise des résultats supérieurs. WST-308A-1CC-BT permet également l'utilisation de procédés de cuisson souples et durs, garantissant que les résultats des expériences de lithographie à haut ratio d'aspect restent fiables quel que soit le type de substrat. Enfin, le grand écran LCD sur SEMITOOL WST-308A1CCBT permet aux techniciens de visualiser facilement les informations d'actifs et de surveiller les paramètres de processus. Dans l'ensemble, SEMITOOL WST-308A-1CC-BT est un modèle de photorésist avancé conçu pour supporter des rendements plus rapides, plus précis et plus élevés des processus photorésistes sensibles. Son débit élevé et ses paramètres de lithographie étroitement contrôlés en font une solution idéale pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs.
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