Occasion SEMITOOL WST-406MG #7441 à vendre en France
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SEMITOOL WST-406MG est un équipement de photorésistance haute performance conçu pour une variété d'applications de traitement de semi-conducteurs. Le système a été conçu pour permettre la fixation idéale de la ligne de sous-microns et du trou de contact, ainsi que la fixation rapide et même la fixation de grandes surfaces. L'appareil est livré avec une chambre de processus, des chauffages, une unité de commande et un logiciel. La chambre de procédé est construite en acier inoxydable 304 et dispose d'un dôme rétractable en quartz susceptor, ce qui réduit les gradients thermiques. Le réchauffeur est composé de deux chauffages à simple tube pour un retournement rapide et une dissipation de puissance maximale. La température est contrôlée par un contrôleur électronique indépendant, qui assure un contrôle précis de la température et un chauffage uniforme de l'ensemble de la chambre. La machine utilise une source laser à haute intensité impulsionnelle cohérente, ce qui permet une exposition rapide de la résine photosensible. La source laser est couplée à un galvanomètre Y/Z à balayage mécanique qui fournit des motifs d'exposition précis. L'outil dispose également d'un sous-système unique d'alignement de haute précision, qui assure une exposition de haute précision des motifs de résines photosensibles. WST-406MG dispose d'une unité de distribution intégrée à quatre voies et d'une unité de spin-rinçage-sec automatisée à température contrôlée. Cela permet d'effectuer le traitement des plaquettes avec les plus hauts niveaux de précision, de cohérence et de vitesse. En outre, l'actif est équipé d'un poste de chargement, qui permet un chargement et un déchargement rapides sans exposer la chambre à la température ambiante. L'interface utilisateur du modèle est une interface utilisateur graphique (interface graphique) Ethernet. Cela offre un accès pratique aux paramètres, paramètres et recettes de processus. L'interface permet également le fonctionnement à distance du système. En résumé, SEMITOOL WST-406MG est un photorésist robuste et performant conçu pour les applications de traitement des semi-conducteurs. La machine fournit des motifs de précision, un alignement précis et une exposition, ainsi qu'un traitement rapide et cohérent des plaquettes. L'interface graphique intégrée rend l'utilisation de l'outil conviviale et pratique.
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