Occasion SEMIX / TAZMO TR 6133UD #293598589 à vendre en France
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ID: 293598589
Taille de la plaquette: 4"-6"
Coater systems, 4"-6"
(3) Zone hotplate
Single / double cassette
Fluoroware type with pitch of 3/16" for (25) Wafers
SOG Nozzles: 0.85mm, 1/16" tubing
Nozzle capping mechanism
Nozzle cleaning with solvent
Splash back cup cleaning with solvent
Adjustable suck back valve
Polypropylene tank: 1 gallon
PVC, 11"
Teflon solvent tubing and suck back valve
(3) Vacuum chuck hot plates
Heater capacity: 3.8 Kw (total) at 250°C
Baking time: 0-999.9 secs with increments of 0.1 sec
Normal indicator setting: ±3°C
SOG Filter: .22 µm Fluoropore fitter
Chemical cabinet: 5 Gallon capacity
(2) Nozzles back side rinses (edge bead removal)
Solvent filter: MILLIPORE CWFG00403 Fluorex / WGFG04HP6 Wafergard
Gas line filter: MILLIPORE GTL WGFG01D Wafergard 0.22 µm filter
Wafer transport system:
Indexing elevator
Vacuum chuck
Shuttle mechanism
Walking beam
Control unit:
Microprocessor: INTEL 8065 (main and (2) sub CPUs)
Speed: 100-9000 RPM (4") / 8000 RPM (6") ± .15% (50-1990 RPM) and ±.1% (2000-6000 RPM) Alarm for speed ±3% of RPM (speed higher than 300 RPM)
Acceleration: Maximum rate 1 sec for 0 to 5000 RPM (programmable in increments of 1 sec)
Process: 20-Steps, 8 / 16 recipes
Temperature control: ±1°C Uniformity with alarm setting of ±3°C
Spinning, dispensing time: 0-99 Sec programmable
Baking time: 0-999 Sec programmable
Process display: Back-lit LCD.
SEMIX/TAZMO TR 6133UD est un équipement photorésist entièrement automatisé et polyvalent qui peut être utilisé pour une large gamme d'applications industrielles. Il est conçu avec des techniques de photolithographie en tête et est capable de produire gravure profonde, planarisation et haute résolution jusqu'à des résolutions de 0,5 microns. L'unité principale est constituée d'une console de commande numérique et d'une table à vide. La console de commande utilise les axes X, Y et Z de l'échelle du micromètre de la table à vide pour l'alignement et le positionnement précis des motifs de la résine photosensible. La table à vide contient également une chambre d'exposition programmable et un système de distribution pour le chargement et le déchargement automatisé de la résine photosensible. SEMIX TR 6133UD offre une gamme de fonctionnalités, y compris un enregistreur d'image numérique, un contrôle de distribution et d'entraînement, une unité de transfert de plaquettes et une machine à vide. L'enregistreur d'images enregistre le motif d'exposition souhaité à la lumière verte, qui est ensuite utilisé pour piloter la commande de mouvement des axes X, Y et Z. La commande de distribution et d'entraínement est utilisée pour contrôler avec précision le débit de photorésist et le fonctionnement des étages d'échelle du micromètre pendant le brassage. L'outil de manutention de la plaquette aide au transfert de plaquettes enduites de photorésist entre l'unité et la chambre de traitement. L'actif de vide permet d'assurer une surface uniforme et propre pour la fixation de haute résolution. TAZMO TR 6133UD offre d'excellentes performances, avec une répétabilité de 10 microns et une haute résolution de 0,5 microns. En outre, le modèle dispose d'une large gamme d'équipements de support pour aider au développement de dispositifs et de produits à base de photorésist. Cela comprend des outils de distribution automatisés, des outils de balayage à grande vitesse, des systèmes de pulvérisation photorésistante et un ensemble de systèmes de dépôt basés sur des photorésistances. TR 6133UD est un équipement de photorésistance avancé qui fournit des capacités de fixation haute résolution, une excellente répétabilité et une large gamme d'outils de support. Il est conçu pour répondre aux besoins des applications industrielles nécessitant des procédures photolithographiques et peut fournir des résultats de haute précision en une fraction du temps.
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