Occasion SEMIX / TOK TR 6132UD #9085096 à vendre en France

SEMIX/TOK TR 6132UD est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des couches minces et un revêtement précis sur une variété de matériaux, y compris des substrats pour semi-conducteurs ou d'autres composants microélectroniques. Le système est adapté aux applications où la résolution en largeur de ligne fine est nécessaire, comme le traitement des dispositifs semi-conducteurs, la fabrication MEMS, et le blindage EMI. L'unité utilise une machine intégrée de sources lumineuses, d'optique, de contrôle d'étage et de photorésist. La source lumineuse LED, qui fournit une lumière diffuse d'éclairage uniforme sur la bande pleine de la plaquette, est capable de produire simultanément des composants de longueur d'onde courte et longue, permettant l'exposition d'une large gamme de photorésistances. Les objectifs numériques élevés, avec une résolution associée de +/- 5 microns, fournissent une imagerie à très haute résolution de 10 microns ou moins. L'outil de contrôle d'étage surveille la position et la vitesse de la table de plaquette, permettant un positionnement précis et répétable des plaquettes dans chacune des étapes d'exposition du procédé. L'actif est également contrôlé en température pour assurer des niveaux d'exposition précis de la résine photosensible, permettant une fixation précise et une épaisseur de film uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Le modèle utilise un procédé de rotation des plaquettes de précision, avec une plage de vitesse allant de 0 à 4000 tr/min, permettant une diffusion uniforme de la résine photosensible sur l'ensemble de la plaquette. La qualité du motif de film mince qui en résulte est excellente, avec une capacité de processus supérieure pour reconnaître les petits motifs. Enfin, l'équipement est équipé d'un logiciel sophistiqué qui surveille et enregistre les paramètres d'exposition pour chaque étape du processus, permettant de suivre l'historique du processus. Dans l'ensemble, TOK TR 6132UD fournit un système très fiable avec des capacités de fixation précises, permettant la création de couches minces cohérentes et précises sur une variété de matériaux. Avec une source de lumière LED intégrée, une optique haute résolution, un contrôle de scène et un spin de plaquette, l'unité est équipée pour fournir la meilleure qualité de balisage et le meilleur contrôle de processus pour les applications de microélectronique à couches minces exigeantes.