Occasion SOLITEC 5100 #9207415 à vendre en France

SOLITEC 5100 est un équipement de revêtement de résistance de précision dédié au traitement des photorésistances. Il est conçu pour fournir une homogénéité et une répétabilité supérieures dans le revêtement et l'exposition photorésist à couches minces, ce qui le rend idéal pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Le système robuste dispose d'une roue filtrante intégrée qui permet des revêtements précis en couches minces. La roue filtrante permet un débit et une dispersion de liquide contrôlés avec précision, d'où une homogénéité supérieure du film. De plus, la roue filtrante permet de minimiser les saignements de solvant lors de la dispersion, ce qui protège le substrat. L'unité offre également une automatisation pour améliorer la répétabilité et la fiabilité des processus. Une machine en boucle fermée règle automatiquement la vitesse de la pompe péristaltique, l'angle de distribution de la roue du filtre et l'espacement des caractéristiques. Cela permet de s'assurer que chaque revêtement est de qualité constante. 5100 est compatible avec une variété de matériaux lithographiques courants, y compris des matériaux tels que des solutions de développement et de décapage, ainsi que des revêtements photorésistants spin-on et spray-on. L'outil supporte plusieurs niveaux de pression de revêtement pour répondre à différents niveaux de viscosité ou exigences de matériau. SOLITEC 5100 est équipé de la technologie d'exposition à balayage automatisé, qui permet des profils d'exposition de haute qualité et des images claires. L'atout offre un contraste élevé, la reproduction d'image de film haute résolution même au niveau micron précision. De plus, l'optimisation de la puissance assure une uniformité précise dans le revêtement et l'exposition des photorésistants à couches minces. Le modèle dispose d'un équipement de régulation de température intégré pour assurer une régulation précise de la température tout au long du cycle de traitement. En outre, une enceinte environnementale est disponible pour améliorer la sécurité et le système peut être équipé d'une enveloppe de refroidissement pour protéger le substrat contre le rayonnement thermique. En résumé, 5100 est une unité de revêtement de résistance avancée conçue pour le traitement de photorésist à couches minces de précision. Sa conception robuste permet une livraison de liquide précise, un revêtement uniforme, une température contrôlée et des expositions constantes. Cela rend la machine idéale pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés.