Occasion SPAMI Ace II #293660330 à vendre en France

SPAMI Ace II est un équipement photorésist complet développé par SPAMI Co. pour des applications industrielles de semi-conducteurs. Le système intègre un module d'exposition laser à balayage multiple, une station de rinçage et une unité de nettoyage automatique pour fournir un haut débit et une excellente couverture d'étape. La machine Ace II fonctionne en utilisant un module d'exposition laser pour transférer des brevets sur une variété de tailles de plaquettes semi-conductrices. Le module d'exposition laser comprend un réseau laser à diodes, un balayage synchrone et un contrôle de positionnement précis. Le module d'exposition laser permet à l'outil d'imprimer des motifs très complexes et détaillés avec des tailles de caractéristiques et des largeurs de ligne extrêmement précises. La station de rinçage est utilisée pour éliminer les résidus de résine photosensible après exposition. Il contient un ensemble de cartes de PCB amovibles pour l'intégration plug-and-play dans l'actif SPAMI Ace II et dispose d'un détecteur de débit à basse pression Rinse Rinse Rinse Pressure (RRR-P), qui empêche les résidus de résines photosensibles de s'accumuler et d'interférer avec le processus d'imagerie. Le modèle auto-clean est utilisé pour optimiser les opérations de nettoyage des outils de processus. Il comprend un étage mobile pour un positionnement précis du substrat et dispose d'un robot de nettoyage intégré avec un servomoteur à deux axes pour une précision de nettoyage accrue. L'équipement auto-propre réduit les temps d'arrêt de l'outillage des processus, contribuant à améliorer le débit, tout en optimisant le coût de propriété et la propreté des photorésistances. Le système photorésist Ace II prend également en charge des fonctionnalités avancées telles que le miroir de motifs, une double conception de plaquette éclairée pour le traitement multicouche et un réseau de têtes de capteurs de plaquettes pour la mesure sensible de l'épaisseur et de la focale. Sa conception modulaire simplifie l'installation, la maintenance et la mise à niveau tout en offrant une excellente performance et flexibilité à un faible coût de possession.