Occasion SSC BPE-2708-SP #9220820 à vendre en France
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ID: 9220820
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Gold plating machines, 8"
Plating mechanism: Fountain, face-down
Manual wafer load and unload
Solution: Non-cyanide, Au solution
Solution capacity: (14) Cups, 8"
Temperature control: Direct heating
Mechanism: PID Control
Temperature control range: Room temperature to ~70°C
Flow rate: Auto control by flow sensor, cup / Pump control mechanism
Plating tank: Laminate
Upper lid: PVC
Cup holder: HT-PVC and PPS, 8"
Upper lid arms: SUS Coated with PTFE
Upper lid open / Close: Air cylinder
Fountain pump: Polypropylene
Valve: PTFE AV valve, HT-PVC, PVC and PFA
Piping of Au solution: HT-PVC, Polypropylene and PFA
Piping of DIW and drain: HT-PVC, PVC, and PFA
Piping of exhaust: PVC
Plating unit: PVC
Cup location: (7) Lines x (2) cups
Fountain pumps: (14) MD-100FYK With inverter control: 8~50 L/min
With cup / Pump flow rate
Circulation pumps: (2) MD-100FYK With inverter control
With (2) circulation piping lines
Fountain filtration: (14) Sets of PP (housing and cartridge)
Circulation filtration: (2) sets of PP (housing and cartridge)
Solution level control: N2 level sensor for each solution tank
With (2) upper, lower, fixed, additive
Sensors: Temperature, leakage, flow rate, area
(4) Heaters, 3 kW
Power supply: Cabinet (Caster and adjuster)
Fixed electrical current
2-Channel switch: (2) 8~3000 mA (8 ~300 mA)
Precision: ±0.5 % by 300 mA
Control: Sequence control
Touch panel and PLC
Data recorded PC
(30) Programmable numbers
(90) Recipes per programmed number
Count current mod (mA / Hour)
Bump height uniformity: ≤ 5 % (10-15) points / Wafer
Bump height uniformity: ≤ 2 um - ≤3 um, 8" (80-120 points)
Flow rate: 35 L/min, no leakage from backside
Edge contact area / Cathode
No plating cup
2006 vintage.
L'équipement photorésist SSC BPE-2708-SP est un système d'exposition laser de précision et automatisé de pointe conçu pour répondre aux besoins des technologies de fabrication en évolution rapide. Il est idéal pour les applications avancées de photolithographie qui nécessitent une haute précision et une haute résolution de détail. En son cœur, l'unité est équipée d'une machine à laser à état solide propriétaire SSC. Cet outil laser produit des impulsions de haute puissance à une variété de fréquences, de durées et de niveaux d'énergie réglables qui peuvent exposer avec précision et précision le matériau photorésist sans causer de dommages. L'actif comprend également une paire de systèmes de caméra haute résolution, conçus pour surveiller et contrôler le processus d'exposition au laser. On assure ainsi que chaque passage du laser suit avec précision le motif prédéterminé, ce qui conduit à une exposition photorésist uniforme. De plus, le modèle comprend un équipement de manutention automatisé. Cela permet à l'opérateur de charger rapidement et facilement deux masques standard par travail de photolithographie, maximisant le débit. Le système de manutention garantit que les masques peuvent être positionnés avec précision avant le tir du laser, d'où une grande précision et répétabilité. L'unité comprend également une machine d'archivage haute puissance et capable. Cela permet à l'opérateur de stocker les paramètres de photolithographie et les paramètres pour un rappel facile, maximisant ainsi le débit. L'outil est contrôlé via une interface intuitive et facile à utiliser. Cet affichage comprend une rétroaction en temps réel sur les progrès de la photolithographie, fournissant un résumé visuel des résultats de chaque étape d'exposition au laser. Dans l'ensemble, BPE-2708-SP Photoresist Asset est une solution idéale pour les applications avancées de photolithographie qui exigent une haute précision et une résolution de détail élevée. Son jeu de fonctionnalités robuste et la manipulation automatisée du matériel permet un débit élevé et assure des résultats reproductibles et cohérents à chaque tâche.
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