Occasion STEAG / MATTSON / AST Marangoni #293595304 à vendre en France
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STEAG/MATTSON/AST Marangoni Photoresist Equipment est une méthode de photolithographie très avancée utilisée pour fabriquer des composants et dispositifs électroniques. Il utilise une combinaison de plusieurs procédés - y compris l'exposition à la lumière et la diffusion réactive - pour exposer et développer un substrat recouvert de photorésist, qui est ensuite utilisé pour modeler la structure ou la caractéristique souhaitée. AST Marangoni Photoresist System est composé de deux réacteurs distincts, appelés WaferProcessor et SoftBake Oven. Le WaferProcessor est une machine pilotée par ordinateur qui aligne les molécules de photorésist à la surface du substrat, crée le schéma d'exposition désiré et développe la couche de photorésist. Le processus d'exposition et de développement est effectué en exposant le substrat à une exposition lumineuse et à un schéma de diffusion réactif spécifiés. Le four SoftBake est ensuite utilisé pour compléter le processus de brassage. Dans ce procédé, le substrat est chauffé dans un four à une température déterminée, réglée sur un temps d'exposition prédéfini, puis un gradient thermique contrôlé est créé entre différentes parties du substrat. Ce gradient thermique permet la formation sélective du motif désiré sans modification de la couche de résine photosensible. La dernière étape du STEAG Marangoni Photoresist Unit est le post-bake, qui utilise un four à haute température pour activer le matériau photorésist. Ce procédé d'activation assure que le motif photorésist reste intact pendant la gravure et les autres procédés de fabrication, et que le motif désiré est répliqué avec précision. En conclusion, Marangoni Photoresist Machine est une méthode de photolithographie avancée et fiable utilisée pour fabriquer des composants et dispositifs électroniques. Cette approche utilise une combinaison de processus d'exposition, de diffusion réactive et de post-cuisson pour obtenir des modèles et des caractéristiques précis. La taille relativement petite et le faible coût de l'installation rendent cet outil adapté à une variété de procédés de production à haut volume.
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