Occasion STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9267094 à vendre en France
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STEAG/MATTSON/AST Marangoni est un équipement de photorésistance développé pour permettre la gravure et la gravure de précision sur diverses surfaces. Il utilise une combinaison sophistiquée d'irradiation de la lumière ultraviolette (UV) et de traitement thermique post-exposition pour dissoudre avec précision les zones ciblées du substrat. Le matériau photorésist est appliqué sur la zone visée en tant que liquide. Lorsqu'elles sont exposées à la lumière UV, les parties exposées du liquide se transforment en solide. Après irradiation, l'échantillon est chauffé à l'aide d'une unité thermique AST Marangoni (MASTU). Ce procédé provoque la dissolution contrôlée de la photorésist réagie. Pour s'assurer que la matière non irradiée n'est pas affectée, la chaleur doit être régulée avec précision au moyen d'une unité de contrôle thermique avancée. Le procédé permet la microfabrication de structures hautes et minces, exactement à l'endroit prévu, et avec une grande fidélité verticale. Il permet également la formation d'angles fins et de microcanaux, ainsi que le contrôle précis de l'épaisseur de la résistance. STEAG Marangoni est particulièrement adapté aux structures de dispositifs à couches minces, tels que MEMS (MicroElectroMechanical Systems) et NEMS (Ndoubles ElectroMechanical Systems). Elle connaît également un grand succès dans d'autres domaines tels que les dispositifs médicaux, la récolte d'énergie et les capteurs, entre autres. Marangoni convient à la fois pour le photorésistance de grande surface et de petite surface. En plus d'être un moyen extrêmement économique d'établir avec précision une grande variété de matériaux, il s'agit également d'une solution respectueuse de l'environnement et qui ne nécessite pas l'utilisation de produits chimiques dangereux. En conclusion, MATTSON Marangoni est une machine fiable pour réaliser la gravure et la gravure de précision d'une manière rentable et sûre. Il peut être utilisé pour un large éventail d'applications, et sa haute précision et sa technologie non toxique contribuent à rendre la fabrication de dispositifs innovants plus facile et plus efficace.
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