Occasion SURFTECH / DAEDALUS Star4 #293608633 à vendre en France

ID: 293608633
Ion coating system Coating technology: Special coating recipe: AlTiCrN, TiSiN, TiN, CrN Process chamber: Type: Stainless steel double walled chamber with shutter Chamber size: 900 x 850 mm Usable plasma zone: 600 x 550 mm Arc source: Deposition source: (4) Circle cathode targets, 6" Power supply: (4) Digital DC power supplies Auto trigger detection system Pump: ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Turbo molecular pump, 1500 L/s ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Primary pump, 65 m³/h ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Booster pump, 250 m³/h Vacuum measure: SUCO Piezo gauge (2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Pirani gauges ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Penning gauge MKS Baratron Gauge Gas control: MKS Mass Flow Controller (MFC), Ar and N2 (2) Heaters, 18 kW: Measure: (2) Thermocouples PID Temperature controller Substrate and carousel: Carousel: 580 x 600 mm Loading capacity: 500 kg BIAS Power supply: Integrated ARC suppression, 15 kW, DC 1000 V, 25 A Touch panel PC, 17" Power supply: 380/400 V, 50/60 Hz, 45 kW, 3-Phase.
SURFTECH/DAEDALUS Star4 est un équipement de haute performance conçu principalement pour la lithographie commerciale à semi-conducteurs de précision. Les photorésists sont des matériaux sensibles à la lumière utilisés dans la fabrication de dispositifs et de circuits semi-conducteurs. SURFTECH Star4 offre une uniformité et une stabilité de processus exceptionnelles, avec une résolution optimale jusqu'à 0,1 um. DAEDALUS Star4 dispose d'un Quad Light Source™ breveté, qui émet un spectre de lumière UV extrêmement uniforme et large pour une cohérence de processus supérieure. Ceci est combiné avec une optique avancée pour une uniformité de la lumière supérieure et un débit plus élevé. Star4 offre également un étage de plaquette de haute précision pour un alignement et une mise au point précis et reproductibles. SURFTECH/DAEDALUS Star4 comprend de vastes capacités de contrôle et de collecte des processus. Le système offre un choix de robot ou de chargement manuel et un contrôleur puissant pour la gestion des recettes et des processus reproductibles. Les systèmes logiciels intégrés assurent l'analyse et la conservation des données, permettant aux opérateurs d'examiner et d'ajuster les recettes par une analyse en temps réel. En outre, l'optique motorisée en option pour un contrôle précis de la focalisation accélère encore le développement des processus et améliore la précision. SURFTECH Star4 est également équipé de contrôles de processus qui fournissent un débit élevé et un accès transparent aux points de réglage de l'équipement. Les systèmes intégrés d'inspection des défauts détectent le produit avant optimisation, améliorant ainsi le rendement. L'unité peut facilement être intégrée dans les gammes de produits existantes d'une usine, ce qui permet une intégration rapide. DAEDALUS Star4 est facile à utiliser, à entretenir et à mettre à niveau, avec une grande variété d'options adaptées à toutes les applications. La machine fournit également des informations diagnostiques sur les méthodes à l'écran et hors de l'écran, ainsi qu'une grande bibliothèque de ressources approfondies adaptées à une variété d'utilisateurs. L'outil est conçu pour dépasser les normes de lithographie SEMI 2000. Dans l'ensemble, Star4 est un actif photorésist hautement capable qui offre des performances robustes, un contrôle des processus et une uniformité répétable. Une résolution excellente, une détection fiable des défauts et des caractéristiques de durée de vie prolongée garantissent que le modèle est adapté à tous les besoins de production de semi-conducteurs.
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