Occasion SVG 8632 #9396691 à vendre en France

Fabricant
SVG
Modèle
8632
ID: 9396691
Taille de la plaquette: 5"
Tracker system, 5".
SVG 8632 est un système de photorésist utilisé pour les procédés de lithographie optique, spécifiquement pour l'imagerie 28nm et plus fine. Il est composé d'un sol-gel organique imageable à tonalité positive en écriture directe et d'un développeur de tonalité positive à base de solvant. Le composant photoactif de la résine est robuste en présence d'EUV et de rayonnement Deep-UV, permettant d'exposer la résine à un rayonnement de très courte longueur d'onde pour une résolution fine. La résine elle-même est composée d'un polymère non ionique et d'un triderivatif hétérocyclique qui, une fois enduit sur la plaquette peut former un motif d'image de haute qualité. Une grande partie des résistances catalysées à l'acide, plus classiques, limitent leur résistivité à certaines espèces polluantes telles que les grandes espèces moléculaires ou les dioxines. La résistance sol-gel de 8632 est cependant très résistive à de tels polluants rendant la résistance très durable et lui permettant d'excellentes caractéristiques d'imagerie. Pour développer le développeur de résistance SVG 8632 est utilisé. Il est basé sur un composé organique aminé qui une fois activé peut agir sur le sol-gel exposé résistent aux régions pour éliminer les parties exposées et laisser derrière les zones non exposées. Ce procédé a permis de réaliser un tissage fin et précis de la plaquette. 8632 est un excellent système de résistance qui a été conçu avec des processus à haute résolution en tête. Sa composition unique de résistance sol-gel permet une imagerie très sensible et précise des tailles de caractéristiques jusqu'à 28 nm et au-delà, bien mieux que les résistances lithographiques régulières. De plus, sa robustesse à l'air et la contamination polluante rendent la résistance très durable et adaptée à une production de volume élevé.
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