Occasion SVG 88 Series #9192887 à vendre en France
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ID: 9192887
Single track coater
Configuration:
Empty space for 2nd track
Send- Coa t-HPO-Receive
System cabinet:
Footprint:
Coat system: 42" Deep X 60" Wide X 38" High (with out CP)
Coat system: 42" Deep X 72" Wide X 38" High (with CP)
System frame:
Internal frame: Standard powder coated black
External panels: Stainless steel
Wafer type: Silicon
Wafer size: 3" Wafer round with flats
Wafer flow: Left to right
Rear of system bulkhead fittings and facility connections for:
Process chemicals: Photoresist, EBR solvents
Process gasses: Clean dry air, nitrogen
Process exhaust
Teflon insulated mainframe wiring
Process chemical dispense lines:
PFA or FEP - Photoresist
SVG Style card cage keypad and display with SVG software control:
Z80 Microprocessor control
(9) Events per program
Times variable from 0. to 99.0 sec. in 0.1 sec
Machine diagnostics: Machine and sensor status
System capable of processing wafers:
Automatic
Single or manual modes
Independent microprocessor control for each track
Automated transfer arm system for module to module wafer transfer
Emergency stop access front of system
Power junction box: 208V, 60Hz, 25A.
SVG 88 Series est un équipement de photorésistance utilisé pour protéger des zones prédéterminées d'un substrat contre l'exposition à un matériau réactif. Il se compose d'une source lumineuse, d'un revêtement photosensible et d'une plaque de masque. La source lumineuse est typiquement une lampe laser ou flash, tandis que le revêtement photosensible est un polymère sensible à la lumière. Lorsqu'il est exposé à une source de lumière, le polymère photosensible réagit et devient opaque, formant une couche opaque de résine photosensible. Cette couche sert de masque, protégeant les zones du substrat de la matière réactive. Typiquement, la plaque de masque est placée entre le substrat et la source lumineuse. Un motif des zones à protéger est gravé sur la plaque de masque, ne laissant passer la lumière vers la couche de revêtement photosensible sous-jacente que lorsque la plaque de masque a le motif. Ceci fait que le revêtement photosensible n'est exposé à la lumière que lorsque la plaque de masque présente le motif, ce qui fait que les parties du revêtement photosensible associées à ces zones deviennent opaques et forment une couche de photorésist. Le système 88 Series est conçu pour fournir une couche de résine photosensible cohérente, détaillée et précise. Cette couche de photorésist est utilisée pour protéger sélectivement le substrat des dommages lors de l'exposition au matériau réactif, tel qu'un graveur ou autre type de solution réactive. Cela permet au technicien d'utiliser cette unité pour protéger des zones déterminées du substrat, en fournissant un contrôle détaillé et la précision pour le processus de fabrication. La machine SVG série 88 peut être utilisée avec différents types de substrats, tels que le métal, le verre, le plastique ou la céramique. Elle s'est également révélée utile dans la fabrication de circuits intégrés, de dispositifs nanotechnologiques et d'autres matériaux et procédés de pointe. Selon le type de matériau utilisé, la source lumineuse peut ajuster le niveau de puissance, le niveau d'énergie et la durée de l'exposition, ce qui permet un contrôle détaillé et la précision à l'intérieur de la couche de résine photosensible. Série 88 est un outil précis et précis pour la création de couches photorésistantes, ce qui en fait un outil inestimable dans la fabrication de divers matériaux et composants. En fournissant une couche de résine photosensible cohérente et précisément structurée, elle est capable de protéger des zones prédéterminées du substrat d'une exposition à un matériau réactif destructeur, ce qui permet d'obtenir une plus grande précision et un meilleur contrôle dans le processus de fabrication.
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