Occasion SVG 88 #293770159 à vendre en France

SVG 88 est un équipement de photorésistance développé pour faciliter la fixation de couches minces de matériaux utilisés en microfabrication et nanofabrication. Le système utilise une source d'éclairage UV profond (DUV) pour l'exposition des films photorésistants qui sont ensuite développés et gravés. Cette unité a été largement utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs, notamment dans la fabrication de MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) et NEMS (Nano Electro-Mechanical Systems). 88 est un processus de photolithographie en deux étapes qui consiste en exposition et développement. Dans le processus d'exposition, un film de résine photosensible est placé sur le substrat. Ce substrat deviendra le dispositif. Le substrat est ensuite revêtu d'un matériau, le plus souvent du chrome, qui sert de masque à la résine photosensible. Le masque protégera les zones de la photorésist qui doivent rester exposées, tandis que des zones de la photorésist non couvertes par le masque seront exposées à la source lumineuse. SVG 88 utilise la lumière DUV pour son processus d'exposition. La lumière DUV est choisie parce qu'elle traite les qualités de faible réflectivité, et la capacité d'atteindre des profondeurs allant jusqu'à 300nm dans le matériau photorésist avec un développement de résistance minimal. Cela permet une résolution fine et le contrôle du balisage à l'intérieur de la résine photosensible. Une fois exposé, le substrat est prêt à être développé. Le processus de développement implique l'utilisation d'une solution de développement qui active la résistance exposée afin de modifier davantage ses propriétés physiques. Le développeur est appliqué comme une gravure humide et au contact provoquera la dissolution de la résine photosensible exposée dans un endroit sélectionné. Ce procédé permet de définir sur le substrat le tracé sensible des zones spécifiées de la résine photosensible. Après l'achèvement, les étapes suivantes sont typiquement la gravure chimique ou le dépôt de métal pour compléter le dispositif. 88 est idéal pour la microfabrication et la nanofabrication en raison de sa capacité de résolution fine, permettant la fixation de haute fidélité des substrats et la spécification des composants individuels. Après l'achèvement du dispositif, quelques procédés tels que le dénudage et le nettoyage par voie humide peuvent être nécessaires pour dégager le substrat de toute résistance restante et permettre des performances optimales du dispositif. Globalement, SVG 88 est une machine de photolithographie de pointe qui utilise une exposition aux UV profonds et des solutions de développement pour définir avec précision les composants d'un dispositif sur un substrat. Ses capacités de haute résolution ont assuré sa place dans la fabrication des appareils MEMS et NEMS, permettant une précision dans la fabrication micro/nano-échelle.