Occasion SVG 88 #293829338 à vendre en France
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ID: 293829338
Solvent developer
Developer module
Hotplate
Processing polyimide and solvent.
SVG 88 est un équipement photorésist de haute précision conçu pour la nanofabrication précise et reproductible des processus de recherche et de développement. Les photorésistes sont des couches minces de matériau photosensible appliquées sur un substrat afin de masquer certaines zones lors de la fabrication. 88 est un système de géométrie de spin vortex qui utilise une méthode de rotation continue pour tourner uniformément la résine photosensible entre le substrat et une tête de spin. Le filage uniforme assure une couche homogène de la résine photosensible sur le substrat. SVG 88 utilise une tête de pulvérisation, ce qui la rend appropriée pour les substrats plus grands tels que 4x4 cm pour les substrats jusqu'à 8 pouces de plaquettes. La tête de pulvérisation est composée d'une buse réglable avec régime réglable, pression et marches. Cela permet à l'utilisateur d'adapter les épaisseurs de la couche de résine photosensible à leurs besoins sans compromettre la précision. La résine photosensible est trempée dans un bac à quartz puis appliquée sur le substrat où elle est cuite en douceur pendant quelques minutes. La résine photosensible est alors exposée à la lumière d'une source lumineuse de forte puissance qui est ajustée au réglage souhaité. Ceci permet une exposition très précise de la photorésist par rapport au substrat, ce qui n'est pas réalisable avec d'autres systèmes de photorésist. La photorésist est ensuite cuite sur une plaque chaude pour fixer l'image et améliorer la robustesse structurale de la photorésist. 88 dispose également d'une unité de contrôle numérique de la température et du vide, permettant une gravure à sec précise et cohérente de la résine photosensible. Cette machine photorésist est conçue pour fournir une précision maximale avec un minimum de déchets, contribuant à réduire les coûts globaux et à améliorer la productivité. C'est un choix idéal pour les procédés de nanofabrication tels que le dépôt de couches minces et la lithographie qui nécessitent un haut degré de précision et de reproductibilité.
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