Occasion SVG 8832 / 8836 #9033927 à vendre en France
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SVG 8832/8836 est un équipement de photorésistance conçu spécifiquement pour le processus de gravure plasma dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un système de photorésist à base de polyvinyl-acétate de faible poids moléculaire qui est conçu pour résister à la gravure des surfaces dans les environnements de gravure humide et sèche. Il présente une grande tolérance au bombardement ionique, ce qui lui permet d'être utilisé dans des procédés tels que la gravure ionique réactive et le fraisage mécanique. 8832/8836 unité se compose de trois couches différentes. La première couche est une couche de résine photosensible, qui est un film de matériau photosensible exposé à une source lumineuse. Il contient des molécules sensibles à la lumière et réagissent à l'exposition en formant des régions exposées et non exposées dans le film. Les régions non exposées sont résistantes à la gravure chimique tandis que les régions exposées sont plus sensibles à la gravure. La deuxième couche est un polymère de coiffage qui lie la couche de résine photosensible à la surface de la plaquette. Il permet également d'éviter les gravures photorésistantes dues au bombardement ionique et à la gravure réactive. La troisième couche est une couche de cuisson post-exposition, qui est un mince film protecteur d'oxyde de silicium. Cette couche est formée par exposition à la source lumineuse et sert à protéger la résine photosensible lors du traitement. La machine SVG 8832/8836 a été utilisée avec succès dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés tels que les microprocesseurs et les DRAM. Il offre un haut degré de protection aux couches sous-jacentes contre les dommages thermiques, chimiques et radiologiques. De plus, il s'agit d'un outil de photorésistance peu coûteux et donc adapté à des applications de production de masse. 8832/8836 actif fournit un excellent soulagement des caractéristiques de modèle jusqu'à 0,35 µm Il est également compatible avec d'autres accessoires, tels que les solvants de strippage et la bande sèche à base d'O2. De plus, il est très stable sur une large gamme de températures de traitement, de -25 ° C à + 150 ° C Globalement, le modèle photorésist SVG 8832/8836 est une solution idéale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il offre une excellente protection contre la gravure, les dommages thermiques, chimiques et radiologiques ; a une excellente résolution des motifs jusqu'à 0,35 µm ; et est très stable sur une large gamme de températures de traitement. De plus, c'est une solution peu coûteuse qui convient à la production de masse.
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