Occasion SVG 8832 #293667132 à vendre en France
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SVG 8832 est un système photorésist haute performance développé par SVG Chemicals. C'est un type de résistance chimique-mécanique (CMP) qui est formulé pour être utilisé dans des procédés de fabrication de semi-conducteurs, tels que la planarisation ou le polissage d'interconnexions et de couches diélectriques à faible k. La chimie est basée sur des monomères époxydes fonctionnels polymérisés en un film réticulable, qui est ensuite appliqué sur un substrat à système spin-coat. Après spin-coating, le film est exposé aux UV ou à la lumière visible, ce qui provoque la réticulation du film polymérisé. Cela permet de retirer sélectivement la résistance lorsqu'elle est traitée dans des systèmes CMP. Le 8832 a un faible taux de dissolution et présente une excellente stabilité dans les lisières CMP. Il présente également un faible taux de rétraction particulièrement intéressant pour les applications à travers le silicium (TSV). Les résistances SVG 8832 présentent également une bonne adhérence sur le cuivre et d'autres métaux, et elles sont compatibles avec les procédés plasmatiques O2 et H2, permettant un traitement post-poli plus rapide et plus fiable. De plus, les résistances 8832 sont respectueuses de l'environnement et sûres pour travailler en raison de leurs faibles propriétés de photobliquage lorsqu'elles sont exposées à la lumière du soleil et de leur faible volatilité. Cela les rend idéales pour les étapes de processus qui nécessitent des procédés de gravure sèche ou humide. En outre, ils peuvent être utilisés dans une large gamme de plages de température, permettant leur utilisation dans différentes applications. En conclusion, SVG 8832 est un système photorésist bien arrondi, offrant l'excellence dans les processus CMP tout en restant entièrement compatible avec une variété d'environnements de travail. Son faible taux de rétraction le rend particulièrement adapté au silicium à travers les applications, tandis que son faible taux de dissolution et son excellente stabilité dans les lisières CMP lui permettent de répondre à une gamme de besoins de protection des produits chimiques et des substrats.
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