Occasion SVG 90S #9206219 à vendre en France

SVG 90S (Sub-micron Vapor-Phase Growth) est un système de dépôt photochimique en phase vapeur (PECVD) fiable pour le traitement de diélectriques, de métaux et d'autres matériaux de haute qualité à l'échelle sub-micron. Il est typiquement utilisé dans une large gamme de procédés semi-conducteurs tels que le dépôt de couches diélectriques hautes et basses, la pulvérisation métallique et la gravure. Au cœur de SVG 90-S se trouve le réacteur rotatif C2 qui peut traiter des plaquettes jusqu'à 25 mm de diamètre. Il utilise deux cylindres horizontaux concentriques et un tube externe pour obtenir un traitement PECVD à basse pression. A l'intérieur du réacteur, les plaquettes sont exposées à un mélange précisément contrôlé de gaz réactifs à très faible débit. Cela vaporise les matériaux, les faisant se nucléer et croître à la surface de la plaquette. Les espèces réactives à l'intérieur du réacteur sont allumées par des éclats de lumière provenant de lampes halogènes pour amorcer le processus. Grâce à ce système, 90 S est capable d'obtenir une très grande homogénéité et une très grande conformité des films déposés, le procédé vapeur permettant d'ajuster facilement les barrières et les vitesses de dépôt sur de grandes surfaces sans masquer. Cela le rend idéal pour les processus de dépôt à bas k et à haut k, car des motifs détaillés et des films épais sur de larges plaquettes avec des dimensions critiques extrêmement faibles peuvent être atteints avec une contrainte résiduelle minimale. Les substrats restent propres car la réaction se produit à basse température, éliminant le risque de contamination par les particules organiques. De plus, 90S est entièrement automatisé par un panneau de contrôle tactile intuitif. Cela permet aux utilisateurs de contrôler facilement la vitesse de dépôt du film, le débit de gaz et la température avec une grande précision. Plusieurs recettes de processus peuvent être stockées et rappelées pour des applications répétables, tandis que plusieurs recettes peuvent être complétées simultanément pour augmenter la productivité. La capacité de SVG 90 S à modeler et déposer des matériaux de haute qualité à des échelles de sous-microns en fait un outil polyvalent pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs. Sa précision et sa répétabilité en font un choix idéal pour le traitement des photorésistances au niveau des sous-microns, ainsi que pour couvrir les tâches auxiliaires des semi-conducteurs comme la pulvérisation, la gravure et la formation de contacts.