Occasion SVG / AIO 86xx #9247857 à vendre en France

SVG/AIO 86xx Series est un équipement de photorésistance de SVG conçu pour la production avancée de dispositifs semi-conducteurs. Le système dispose à la fois de photorésist balayage et de sous-systèmes de tête de pulvérisation pour une couverture de défaut supérieure, débit et rendement élevé dans une large gamme de niveaux de processus avancés. L'unité est adaptée à une variété de processus, y compris le couplage à plusieurs niveaux, les caractéristiques du sous-quart de micron, et la capacité d'atteindre via et d'interconnecter la formation. La machine est capable de basculer rapidement entre des expositions à pleine surface et des caractéristiques de haute précision avec des capacités de résolution en ligne fine. Avec jusqu'à quatre systèmes de cassettes, l'outil est en mesure de permettre un débit à grande vitesse tout en maintenant le rendement et les performances. L'actif est doté d'un cadre serré, d'un faible éclairage parasite, d'une faible ombre et d'une grande uniformité. Il est conçu pour éliminer le potentiel d'ombrage partiel et améliorer l'acuité des bords. Le modèle est équipé d'un enrouleur/développeur à quatre chambres pour des applications de planarisation rapides et précises et un traitement chimique/mécanique avancé. Un équipement de génération à neuf axes avec une précision de position de 0,4 micron aide à contrôler avec précision la formation de films complexes. Le système comprend également une unité d'imagerie laser multifaisceaux avec une puissance de sortie de 2KW pour une lithographie rapide et précise sans ombre. La machine optique de précision avancée dispose d'un grand champ de vision pour améliorer les capacités de débit. Le logiciel optique permet de contrôler simultanément l'alignement des photomasques et la correction des déformations, ce qui permet d'obtenir des structures bien définies avec une résolution et un débit plus élevés. Les fonctions avancées de contrôle, de surveillance et de rapport des outils aident à fournir rapidement des commentaires sur la performance des processus et la fiabilité globale des actifs. Les capacités supérieures de gestion thermique du modèle assurent un fonctionnement et une sortie fiables lors du traitement des photorésists à haute température et d'autres produits chimiques. Dans l'ensemble, SVG 86xx Series est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour fournir un rendement et un débit supérieurs pour les procédés avancés de production de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de traiter des motifs complexes avec un contrôle serré et une grande précision pour des résultats très fiables.