Occasion SVG / ASML 90S #9077807 à vendre en France
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SVG/ASML 90S est un équipement photorésistant commandé par ordinateur utilisant l'impression par contact, conçu pour transférer un motif de manière rigoureuse sur un substrat en silicium. Il est utilisé dans la réalisation de circuits microélectroniques. Le système utilise des formes de motifs qui ont été stockées sur un ordinateur et projetées optiquement sur le substrat à partir d'une colonne optique intégrée. La colonne optique contient une variété de lentilles, telles que des éléments de focalisation, des éléments d'imagerie et des éléments de projection. Un masque est placé entre la colonne optique et le substrat, qui maintient le motif du circuit. La lumière de la lentille de projection traverse le masque et est focalisée sur le substrat. Lorsque la lumière traverse le motif sur le masque, elle est focalisée sur le substrat photorésistant. Selon le type de matériau photorésist utilisé, il sera soit exposé à la lumière, soit bloqué de la lumière pour déterminer le motif dans la photorésist. L'unité SVG 90S dispose d'un générateur de motifs pour reproduire avec précision la conception souhaitée sur le substrat. Cette machine comprend également un interféromètre à réseau étroit, utilisé pour mesurer la focalisation en comparant les deux ondes des faisceaux projetés et réfléchissants. Cet outil comprend également une unité de commande de l'étage pour régler la précision du mouvement de l'étage, l'orientation et la position de l'axe z. En outre, cet actif dispose d'un scanner laser, qui focalise la lumière laser sur le substrat et l'utilise pour ajuster la position de l'étage avec une précision de sous-micron. On assure ainsi un déplacement précis du substrat pour maintenir le positionnement du motif projeté. Le substrat est ensuite exposé à l'aide d'une source de lumière UV, ce qui permet d'exposer la résine photosensible. La résine photosensible exposée est ensuite mise au point dans un solvant et traitée selon les instructions du fabricant. Il en résulte un motif de circuit sur le substrat qui est précis et précis dans ses dimensions. Le modèle dispose également d'un outil d'intégration post-processus qui surveille la performance de l'équipement, en s'assurant qu'il fonctionne à sa plus haute capacité. ASML 90S est essentiel dans la fabrication de composants micro ultra haute densité et de haute qualité, tels que les processeurs, les microcontrôleurs et les mémoires. C'est l'un des systèmes photorésistants les plus précis et les plus fiables disponibles sur le marché.
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