Occasion SVG / ASML 90S #9214756 à vendre en France
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SVG/ASML 90S est un équipement photorésist de pointe développé par SVG, le premier fournisseur mondial de systèmes de lithographie pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système est conçu pour fournir une méthode fiable de fixation de plaquettes pour les processus submicroniques profonds. SVG 90S utilise une lumière laser très précise et sensible pour l'exposition d'un matériau de résistance photosensible. A l'aide de miroirs mobiles, l'unité optique de projection projette des motifs topographiques en couche photorésist sur le substrat, ce qui permet la création de structures microscopiques avec une très grande précision. Afin d'atteindre une uniformité d'exposition suffisante, une boucle de rétroaction interne à l'intérieur de la machine de projection est utilisée pour mesurer en permanence l'exposition réelle et compense en conséquence. ASML 90S est également équipé d'un laser à gaz Argon Fluoride (ArF) spécial d'une longueur d'onde d'émission de 193nm. Cette longueur d'onde est optimale pour exposer efficacement la couche de résistance dans un processus submicronique profond. De plus, l'alignement des plaquettes est réalisé avec un outil de guidage d'inclinaison qui balaye la surface du substrat et transmet instantanément les données de position au Logiciel pour ajuster son faisceau. Pour assurer une compatibilité sans faille avec divers substrats, 90S est également livré avec une gamme complète de cassettes (non) montées, spin-hucks, et des accessoires de manutention de plaquettes, qui utilisent tous un outil de haute précision de connexion (HAC) permettant le remplacement sans dents. Tous ces composants assurent un transfert extrêmement précis de la plaquette de la cassette à la tête d'exposition. Ce qui distingue SVG/ASML 90S des autres systèmes de photorésistance, c'est qu'il offre une analyse d'imprimabilité en temps réel. Cela garantit l'optimisation des processus, une plate-forme intégrée de contrôle de la qualité et réduit encore les coûts de fonctionnement. En plus de modifier les paramètres, d'autres fonctionnalités incluent la sauvegarde et la restauration des données du produit, la protection de vos recettes et les mises à jour logicielles. SVG 90S est une étape importante vers une plus grande précision en photolithographie, et a révolutionné l'art de modeler des processus submicroniques profonds. Désespérant de l'investissement initial, ce modèle offre des solutions de fabrication polyvalentes, fiables et rentables afin de stimuler une production plus efficace et, par la suite, des rendements plus élevés.
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