Occasion TEL DUO #293670501 à vendre en France

TEL DUO
Fabricant
TEL
Modèle
DUO
ID: 293670501
Wafer Coater / Developer system.
TEL DUO est un équipement de matériaux photorésistants utilisé dans la fabrication de composants électroniques et optoélectroniques. Il s'agit d'une combinaison de deux couches de polymères, chacune avec un colorant réactif différent. À cet égard, tous les matériaux du système sont collectivement appelés « photorésist ». DUO a été développé par Tokyo Electron (TEL) et est utilisé dans le processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est largement utilisé en raison de sa résistance chimique et environnementale supérieure et de sa capacité à agir comme photorésist à la lumière, la chaleur et la corrosion. TEL DUO est une structure à deux couches revêtue initialement d'une couche de résine photovoltaïque à base de silicone. Cette couche est ensuite appliquée avec un agent de résistance photosensible. Grâce à l'exposition à la lumière UV et aux techniques de gravure chimique, les couches photorésistantes ultra minces sont créées avec une grande précision. La deuxième couche de la machine DUO est une couche de photorésist à tonalité positive qui est recouverte de la photorésist exposée aux UV. Cette couche aide à créer des motifs dans la couche photorésistante avec une plus grande précision que ce qui est réalisable avec la résistance aux UV standard. En appliquant le procédé TEL DUO, la lumière ultraviolette est rayonnée au-dessus de la couche de substrat, et la couche supérieure de résine photosensible est exposée à travers un masque. Une fois exposée, la couche supérieure est ensuite gravée à l'aide d'un réactif chimique, révélant la couche photorésistante décrite en dessous. Les avantages de l'outil de photorésistance DUO sont nombreux. Non seulement il offre une résistance chimique et environnementale supérieure, mais il permet également la fabrication de composants électroniques et optoélectroniques de petite taille et complexes. De plus, ses doubles couches de protection sont beaucoup plus durables qu'une seule couche, offrant ainsi une durée de vie accrue aux composants exposés à des conditions dures. Enfin, comme TEL DUO peut facilement être utilisé avec les systèmes de lithographie existants, il peut être rapidement implémenté dans des dispositifs semi-conducteurs et des composants optoélectroniques.
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