Occasion TEL / TELIUS Immersion #9267456 à vendre en France
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ID: 9267456
Track system, parts machine
BSB
Coat module
Cassette stage block
Develop module
GCN Cabinet
HP and adhesion plates
Interface resist buffer
Interface spin drivers
Interface 1
Interface 2.
TEL/TELIUS Immersion est un système de photorésistance caractérisé par une pénétration profonde de la lumière, permettant une résolution plus précise en photolithographie haute densité. Il est utilisé dans la microfabrication de circuits intégrés ainsi que de composants microélectroniques. TEL Immersion utilise un matériau photorésistant, qui est un film polymère sensible à des longueurs d'onde spécifiques de la lumière. La lumière appliquée sur la résine photosensible crée une modification de ses propriétés qui permet de graver le motif désiré dans un substrat. En immergeant la photorésist dans un fluide, plus de lumière est capable de pénétrer la photorésist, augmentant la profondeur de champ et la résolution. TELIUS Immersion présente plusieurs avantages par rapport à la photolithographie traditionnelle. Il est beaucoup plus efficace en raison de sa profondeur de champ accrue, et est capable de produire des images de précision supérieure avec des niveaux de précision accrus. Il est également extrêmement économique, car il ne nécessite pas de produits chimiques supplémentaires ou d'équipements coûteux, ce qui le rend idéal pour les procédés de fabrication de masse. De plus, son temps de traitement plus court permet une production plus rapide de circuits intégrés et d'autres composants microélectroniques. Le procédé d'immersion commence par le dépôt d'une couche de résine photosensible sur un substrat préalablement nettoyé et traité. Lors de l'étape d'exposition, il est éclairé par une source lumineuse, telle qu'un laser, exposant la résine photosensible si désiré. Les zones pénétrées de la résine photosensible subissent une modification de sa propriété, permettant de résister à l'élimination lors de l'étape de gravure suivante. Il en résulte le motif ou la conception gravé dans le substrat. Enfin, la résine photosensible est retirée. Après inspection, le substrat peut ensuite être traité ou utilisé tel quel. TEL/TELIUS Immersion offre les avantages d'une haute résolution et précision, une production rapide et rentable et un gaspillage minimal de matériaux.
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