Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112903 à vendre en France
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ID: 9112903
Driver Control Assembly, 8"
Panasonic, P/N: MSD261Y21
Power Supply PCB, P/N: 581B345E
Communication PC, P/N: 581B357C
Z Driver Unit, P/N: MSD043A1Y04
Z Driver Comm PCB, P/N: 581B370A
Z Driver I/O PCB, P/N: 581B342E
(3) X Driver Unit, P/N: MSD3AZA1Y04
(3) X Driver Comm PCB, P/N: 581B343C
(3) Driver I/O PCB, P/N: 581B342E.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de photorésistance utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs. Des systèmes photorésistants sont utilisés pour appliquer un revêtement photosensible sur des plaquettes semi-conductrices. Le but de l'utilisation de tels systèmes est de créer des motifs sur la plaquette pour contrôler ses propriétés électriques et autres. TEL ACT 12 est un système de photorésistance optimisé spécialement conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil avancé qui comprend un projecteur intégré, des taches de mise au point doubles et une station de déchargement/chargement de type panier. En fonction des besoins du client, l'unité peut être programmée pour fournir des couches structurées avec des fonctionnalités de sous-résolution jusqu'à 0,35 µm. TOKYO ELECTRON ACT12 est équipé d'une cassette extérieure de 12 pouces à double niveau, qui assure un maintien ferme des plaquettes pendant le traitement. La machine de projection fournit des images très précises sur une large zone d'exposition. Le projecteur est équipé d'un interféromètre laser couplé à un outil d'auto-alignement qui assure une projection précise. Les spots à double foyer, optimisés sur la base d'un algorithme mathématique, contribuent également à améliorer la précision de l'image projetée. En outre, l'actif dispose également d'un modèle de redondance intégré. Ceci garantit qu'en cas de défaut de l'équipement, il tombe en panne en toute sécurité et n'endommage pas les plaquettes. Le système comprend également un convoyeur haut de gamme à faible vibration, qui minimise les vibrations lors du traitement, réduisant ainsi les dommages aux plaquettes. Enfin, ACT 12 est conçu avec une interface graphique conviviale. Ceci est destiné à rendre l'installation de la machine et la création de motifs plus facile et plus rapide. L'outil est également équipé d'un module de moniteur intégré qui surveille en permanence les performances des actifs et fournit des informations détaillées sur toute anomalie. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ACT 12 est un modèle photorésist puissant conçu spécifiquement pour une utilisation dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Incorporant des caractéristiques telles que l'auto-alignement, les points focaux doubles et un système de redondance d'équipement, l'unité fournit une grande précision et fiabilité pour créer des motifs complexes sur les plaquettes semi-conductrices.
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