Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9142701 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de photorésistance conçu pour les processus critiques de fabrication de dispositifs. C'est un outil de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui est utilisé pour déposer des couches minces de photorésist sur des plaquettes de substrat. Le procédé commence par charger d'abord les plaquettes sur le système, qui les aligne et les transporte ensuite dans une chambre à vide. La chambre abrite une source d'électron-asiste (EAS), qui génère un faisceau d'électrons pour activer une réaction en phase gazeuse pour le dépôt de photorésist. L'unité est également équipée de la Microparticle Image Signal Processing (MISP), qui mesure les caractéristiques des couches minces de nano-particules, et du dispositif Electron Cyclotron Resonance (ECR), qui aide à maintenir une atmosphère stable pour le processus de dépôt. L'ECR permet en outre d'atténuer les instabilités plasmatiques dans la chambre en raison de la différence de pression de l'extérieur et de l'intérieur de la chambre. Le réacteur à gaz introduit alors dans la chambre de procédé le mélange approprié de photorésist et de gaz réactifs. La résine photosensible est exposée au faisceau d'électrons et à la réaction en phase gazeuse pour créer une couche de couche mince uniforme sur toutes les plaquettes. L'épaisseur de la couche de film est contrôlée à l'aide d'un moniteur de rotation qui permet une durée d'impulsion précise à un angle de rotation donné. Cet outil fournit d'excellentes normes de sécurité, des systèmes de surveillance et une gamme de composants conçus pour fournir des couches de couches minces de haute qualité. Il est largement utilisé dans les procédés avancés de lithographie et de gravure, tels que la nano-impression, le transfert de bande, le dépôt de semi-conducteurs et l'emballage, et peut être utilisé avec une variété de matériaux photorésistants. Il a la capacité de traiter jusqu'à 600 mm de plaquettes en une seule fois, ce qui le rend idéal pour les processus de fabrication de dispositifs à haut volume. TEL/TOKYO ELECTON TEL ACT 12 est un actif CVD fiable et avancé capable de produire des couches de couches minces de haute qualité rapidement et efficacement. Il est polyvalent et capable de traiter divers matériaux photorésistants, ce qui garantit qu'il peut être utilisé dans une variété de procédés de fabrication de dispositifs. Il s'agit donc d'un outil indispensable pour les fabricants de dispositifs qui cherchent à réaliser des composants précis avec des couches de couches minces fiables à une fraction du coût.