Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235798 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de photorésistance conçu pour la formation de motifs de détails microfins et ultrafins sur des plaquettes semi-conductrices. Il est basé sur le principe de la photochimie, qui utilise la lumière pour convertir un certain composé chimique à une forme différente par une réaction chimique. Au cœur de TEL ACT 12 se trouve un système d'exposition optique à canon électronique, qui est utilisé pour contrôler avec précision la quantité de lumière utilisée dans la réaction photochimique. Cette unité d'exposition utilise une plaquette semi-conductrice en combinaison avec un faisceau d'électrons, et une photomasque contenant le motif nécessaire, pour transférer le motif sur la plaquette. Le faisceau d'électrons est dirigé à travers la plaquette de manière réseau et peut être réglé pour envoyer différents niveaux d'intensité. Un obturateur est positionné devant la plaquette afin de laisser passer des niveaux d'intensité variables. En plus de la machine d'exposition optique à l'arme électronique, TOKYO ELECTRON ACT12 dispose également d'un outil de stabilité de la plaquette qui est utilisé pour assurer la stabilité de la plaquette pendant le processus de formation du film. Cet actif fait appel à une étape de transfert de film qui est positionnée devant la plaquette pour la supporter lors du processus d'exposition, permettant un contrôle précis de l'épaisseur. Il intègre également un modèle de régulation de température qui régule la température de la plaquette pour assurer une formation de film uniforme. L'ensemble de l'équipement a un débit élevé, et est capable de former des motifs sur des plaquettes de différentes tailles dont, 4, "6", et 12 ". En outre, TEL ACT12 offre la flexibilité nécessaire pour supporter une grande variété de films de résistance, comprend des photorésists positifs et négatifs, ainsi que des résines SU-8 et SU-8XL, En outre, le système d'exposition est capable de former des détails complexes, y compris des lignes et des espaces de 10 microns, et peut atteindre une résolution allant jusqu'à 150nm. L'unité est également optimisée pour une faible génération de particules, ce qui la rend idéale pour une utilisation en salle blanche. TOKYO ELECTRON ACT 12 est une machine photorésist très avancée et efficace, qui offre aux utilisateurs la flexibilité et la précision dont ils ont besoin pour créer des détails très précis et complexes sur les plaquettes semi-conductrices. Il a un débit élevé et est également convivial, ce qui en fait un choix idéal pour toutes les applications photorésist.
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