Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244894 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour un large éventail d'applications. Il permet aux utilisateurs de développer une grande variété de motifs de structure fine avec une grande précision et répétabilité. Le système est équipé d'un contrôleur de processus semi-conducteur avancé et sophistiqué, qui prend en charge divers processus personnalisés. L'unité est capable de produire des motifs haute définition avec des résolutions jusqu'à 200nm. Le procédé photorésist implique l'application d'une couche de matériau photosensible sur le substrat. Une fois la résine photosensible appliquée, elle est ensuite exposée au type de lumière approprié, telle que la lumière ultraviolette profonde. L'exposition active le photorésist dans certaines zones, et le matériau se durcit dans ces zones, le rendant immunisé contre le processus chimique ultérieur. La machine TEL ACT 12 est livrée avec un ensemble de logiciels propriétaires qui fournit aux opérateurs une gamme ou des outils et des fonctions puissants pour la mise en place du processus requis. Il comprend un programme Soft Detail Generator (SDG), qui permet aux utilisateurs de simuler et d'ajuster rapidement et avec précision les motifs avant de les traiter dans un substrat. Il dispose également d'une station de contrôle de gaz séparée qui permet un réglage précis du débit de gaz pour chaque étape du processus. La précision de l'outil est facilitée par son atout avancé de contrôle de mouvement, qui fournit un profilage de mouvement dynamique ainsi que la stabilisation de mouvement pour s'assurer que les modèles sont fixés avec précision et efficacité. Le modèle est capable d'exécuter un mouvement extrêmement rapide et de grande précision des substrats dans les directions X et Y. TOKYO ELECTRON ACT12 est également équipé d'un équipement d'imagerie de pointe, qui permet aux utilisateurs d'inspecter et de vérifier les modèles au fur et à mesure de leur création. Il utilise une caméra haute résolution pour prendre des images de substrats. Il peut détecter des micro-défauts dans le substrat et transmettre ces informations au contrôleur pour correction. Le système est également soutenu par une unité automatisée de nettoyage et de traitement des plaquettes, qui fournit aux opérateurs des opérations efficaces et intégrées de contrôle des processus, de nettoyage, de séchage et de pré-cuisson. La conception intégrée permet d'exécuter un flux de travail efficace et rentable avec un minimum d'effort. ACT12 est une machine de traitement de résine photosensible efficace et économique conçue pour permettre un large éventail d'applications. Il est équipé d'un contrôleur de processus avancé, d'un logiciel sophistiqué, d'une station de contrôle de gaz, d'un outil de contrôle de mouvement rapide et de haute précision et d'un processus de nettoyage automatisé des plaquettes. Sa technologie d'imagerie haute résolution lui permet de détecter et de corriger les micro-défauts du substrat, et sa conception intégrée et son flux de travail efficace fournissent aux utilisateurs un outil puissant et économique pour leurs besoins de traitement de la résine photosensible.