Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9247862 à vendre en France
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ID: 9247862
Taille de la plaquette: 12"
Coater / Developer system, 12"
Single block
PIQ.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de photorésistance développé par TEL (TOKYO ELECTRON). Il est conçu pour permettre la fabrication répétable, fiable et précise de circuits, de motifs et d'autres éléments sur des plaquettes semi-conductrices, des substrats et d'autres surfaces. Le système utilise la photolithographie pour transférer un motif sur une plaquette ou un substrat semi-conducteur et est typiquement utilisé pour le traitement de circuits microélectroniques, de circuits intégrés (IC), et d'autres dispositifs. L'unité de photorésistance TEL ACT 12 comprend trois composants principaux : l'ensemble Mask Aligner, l'unité de développement et les contrôleurs d'exposition. L'ensemble Masque Aligner comprend le Porte-Masque et la Table d'Alignement Réticle, qui maintient et aligne le photomasque ou réticule sur le substrat. L'unité de développement est utilisée pour le traitement post-exposition des films de résines, qui comprend la préparation du substrat pour l'exposition au contact et le développement, le dénudage et/ou la cuisson. Les contrôleurs d'exposition contrôlent et surveillent le processus d'exposition. L'ensemble Masque Aligner utilise une caméra CCD (dispositif à couplage de charge) pour assurer l'alignement et l'enregistrement précis du motif sur la photomasque ou le réticule. Il est équipé de capteurs environnementaux et de rétroaction de position en temps réel pour garantir l'enregistrement précis au niveau des plaquettes. L'unité de développement se compose d'une station de traitement humide, d'une station de traitement à sec et d'une station de cuisson. La station humide est équipée d'un capteur de chaleur pour assurer un contrôle précis de la température et un développement correct du film de résistance. La station sèche utilise un mandrin à vide pour maintenir le substrat et contrôler les paramètres d'exposition. La station de cuisson utilise un chauffage et un contrôle de température pour assurer une cuisson uniforme des films de résistance. Les contrôleurs d'exposition sont chargés de contrôler et de surveiller le processus d'exposition. Les paramètres d'exposition tels que le temps d'exposition, l'intensité et la longueur d'onde peuvent être contrôlés avec précision par les contrôleurs d'exposition. Il fournit également une rétroaction en temps réel pour le contrôle et l'optimisation des processus de bout en bout. L'utilisateur peut également sauvegarder des recettes pour une utilisation future qui permet à l'opérateur d'exécuter le même processus d'exposition plusieurs fois avec seulement des changements mineurs entre les essais. La machine de photorésistance TOKYO ELECTRON ACT12 fournit une méthode fiable, répétable et précise de fixation sur des plaquettes et substrats semi-conducteurs. L'outil permet des motifs haute densité et un enregistrement précis des contacts, ce qui améliore les performances du circuit. L'actif peut également être utilisé pour l'optimisation des processus et l'amélioration des rendements, offrant un meilleur rapport coût-efficacité et l'intégration du processus de photolithographie.
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