Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251329 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de haute performance conçu pour des applications lithographiques avancées. Photoresist est le matériau le plus important utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, et TEL ACT 12 a été développé pour fournir la plus haute performance et reproductibilité. TOKYO ELECTRON ACT12 est conçu pour fournir un revêtement photorésist contrôlé avec précision, avec uniformité sur l'ensemble de la plaquette. C'est un système modulaire qui peut être configuré pour répondre aux besoins d'une application donnée. Les composants de base de l'unité comprennent deux chambres de dépôt pour le revêtement photorésist, un séchoir à rinçage au spin, un four, deux stations de nettoyage post-revêtement et un chargeur de cassettes dédié à dix ports. TEL ACT12 utilise une variété de technologies de pointe pour assurer des dépôts photorésistants de haute précision. Il s'agit notamment d'une tête de dépôt programmable, d'une machine de rétroaction à interféromètre laser, d'un séchage à température contrôlée, d'un séchage par rinçage au spin et d'un outil automatique TEL-optics pour un contrôle précis du revêtement. L'actif dispose également d'un mandrin à vide à cinq étages de haute précision conçu pour garantir des résultats précis et cohérents. TOKYO ELECTRON ACT 12 est capable de revêtir jusqu'à 4 000 wafers par heure, et peut être configuré pour accueillir divers films photorésistants d'épaisseur variable. ACT 12 a été conçu pour assurer une propreté supérieure après revêtement, avec deux postes de nettoyage intégrés. Les chambres sont spécialement conçues pour éliminer efficacement les résidus de couches minces et d'autres contaminants de surface, tandis que le four post-revêtement élimine les matières résiduelles et les contaminants laissés pendant le processus de revêtement. TEL/TOKYO ELECTRON ACT12 est équipé d'un logiciel de pointe TOKYO ELECTRON, permettant le contrôle manuel et programmé de tous les paramètres du modèle. Le logiciel permet un contrôle précis des dépôts de résines photosensibles, ainsi que la possibilité de stocker et d'analyser des données provenant de multiples opérations. ACT12 est un équipement de photorésistance avancé conçu pour fournir des résultats fiables, précis et reproductibles pour des applications photolithographiques. Ses caractéristiques hautes performances, y compris la tête de dépôt programmable, le système de rétroaction interférométrique laser, le régulateur de température, le séchoir à rinçage au spin, l'unité optique automatique, le mandrin à vide à cinq étages et la propreté post-enduction, garantissent des résultats exceptionnels. Et avec TEL/TOKYO ELECTRON logiciel avancé, la machine peut être utilisé pour contrôler et analyser tous les paramètres de revêtement.