Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290661 à vendre en France
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ID: 9290661
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Coater / (2) Developer system, 12"
Track 1:
Single block
ADH
Track 2:
Resist reduction: RRC
Developer nozzle: H Nozzle
RDS Resist pump: 10 ml
Oven:
(3) CPL
(7) LHP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12, un équipement photorésistant développé par TEL et commercialisé par divers distributeurs dans le monde, est un système de gravure économique mais avancé conçu principalement pour le traitement des semi-conducteurs. L'unité permet de fabriquer avec précision des motifs complexes sur des substrats en contrôlant le dépôt de photorésist. La photorésist est un type de matériau sensible à la lumière qui est appliqué sur des composants semi-conducteurs et d'autres matériaux similaires pour les structurer par gravure ou dépôt de couches supplémentaires. La machine TEL ACT 12 est conçue pour être conviviale, et offre de larges capacités de processus pour s'adapter à une variété de processus, tels que la lithographie de contact, le revêtement de spin, l'alignement de masque et les étapes de post-traitement. L'outil comprend plusieurs fonctionnalités matérielles puissantes pour assurer un contrôle précis du processus. Il s'agit notamment d'un actif d'alimentation en photorésist, d'un modèle de manutention des plaquettes, d'un générateur de motifs, d'un alignement laser et d'un mécanisme de focalisation automatique. L'ensemble de l'équipement dispose d'une grande surface de travail avec une grande précision de déplacement et une grande précision. Le système d'alimentation en photorésist est le cœur de l'unité, et permet un revêtement cohérent et uniforme de photorésist sur le substrat. Il est également capable de régler l'épaisseur de la couche de résine photosensible en fonction des besoins de l'utilisateur. La machine de manutention des plaquettes assure un déplacement et un positionnement précis du substrat, tandis que le générateur de motifs permet à l'utilisateur de définir les motifs à graver. La fonction d'alignement laser assure un positionnement précis des motifs, et le mécanisme de focalisation automatique assure que la plaquette entière est exposée au même niveau d'exposition à la lumière UV. De plus, l'outil TOKYO ELECTRON ACT12 comprend un logiciel de contrôle intuitif qui permet de gérer et de programmer facilement les séquences de processus. Cela en fait l'atout idéal pour les opérations de fabrication automatisées. Le logiciel dispose d'une bibliothèque intégrée de paramètres de processus qui peuvent être personnalisés en fonction des besoins du processus. Il comprend également des fonctions de sécurité qui alertent l'utilisateur de toute erreur ou problème dans le processus. Dans l'ensemble, le modèle TEL ACT12 est un excellent choix pour tous ceux qui recherchent un équipement photorésist rentable avec des capacités de processus avancées et une facilité d'utilisation. Les caractéristiques matérielles robustes du système assurent un contrôle cohérent et précis des processus, tandis que son programme intuitif de contrôle logiciel permet un fonctionnement et une maintenance en douceur.
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