Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9351398 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de photorésistance qui utilise un faisceau d'électrons de haute énergie pour exposer un film de photorésist. La résine photosensible est ensuite utilisée pour fabriquer une variété de dispositifs électroniques avec une précision nanométrique. Ce système exploite les propriétés d'une unité de lithographie par faisceau électronique en écriture directe (DWEL) pour exposer des films photorésistants. La machine utilise un canon à électrons qui est construit à l'aide d'un filament spécial qui émet des électrons. Les électrons générés sont accélérés à travers le canon par un champ électrique à haute tension conduisant à un faisceau d'électrons à haute énergie qui frappe le film photorésiste. L'énergie du faisceau d'électrons est contrôlée à l'aide d'un analyseur d'énergie qui peut également contrôler le faisceau d'électrons. La gamme d'énergie des systèmes est de 10 à 600 KeV, et la taille des taches va de 50nm à 0,5 μ m. L'exposition au faisceau d'électrons suit une exposition actinique, qui consiste à contrôler la tension et le courant du faisceau, sa taille ponctuelle et la durée de l'exposition. De plus, l'outil est capable de contrôler avec précision la dose d'exposition, en contrôlant la densité de courant et la position du faisceau d'électrons de sorte que la géométrie et les caractéristiques du motif soient exposées avec précision et uniformité. Le film de photorésist utilise un procédé de dépôt en deux étapes, qui utilise une photorésistance standard enrobée sur le film puis exposée sélectivement au faisceau d'électrons. Après cela, les zones exposées sont développées et utilisées pour modeler les composants électroniques. De plus, la nature de l'actif photorésist permet une résolution spatiale plus élevée, en préservant des détails complexes des composants électroniques fabriqués. Ce modèle est adapté à la construction de composants électroniques de très petite taille, qui bénéficient de l'énergie élevée du faisceau d'électrons et de la taille réduite des taches, ce qui permet une plus grande résolution et précision dans la fabrication. De plus, l'équipement dispose d'un préprogramme de gabarit pour enregistrer et stocker les modèles d'appareils électroniques qui ont été précédemment construits, ce qui permet de récupérer et de fabriquer facilement des appareils. En tant que tel, ce système est adapté à des applications telles que la fabrication de points quantiques et les nanostructures. Le coût de l'unité est également raisonnable, ce qui en fait un choix attrayant pour ceux qui cherchent à produire de petits composants électroniques.