Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9358605 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 est un équipement de photorésistance utilisé dans la fabrication de circuits intégrés avancés. Il est composé d'une source lumineuse, d'une optique, d'un système de distribution de pulvérisation, de contrôleurs et de logiciels. La source de lumière permet une exposition précise du matériau photorésist qui est ensuite distribué sur une plaquette par l'unité de distribution de pulvérisation. Le contrôleur et le logiciel assurent le contrôle et la supervision de la machine et permettent la programmation des paramètres d'exposition, l'application de la photorésist, ainsi que le diagnostic de l'équipement. La source lumineuse est basée sur l'éclairage stroboscopique et dispose d'une diode à faisceau d'électrons. Le faisceau d'électrons passe l'émetteur du faisceau, puis la lentille et enfin la fente d'ouverture. On élargit ainsi l'exposition et on obtient une répartition uniforme de la lumière. L'optique est conçue pour assurer un motif d'éclairage très uniforme sur la plaquette. L'optique contient un filtre couleur et un masque d'ouverture, qui optimisent la profondeur de champ et améliorent l'uniformité. L'outil de distribution de pulvérisation utilise une combinaison d'impulsions de pression et de champs électriques basse tension et haute fréquence. Ceci permet une couverture uniforme, précise et répétable du matériau photorésist sur la plaquette. Les contrôleurs et les logiciels contrôlent le fonctionnement de l'actif, permettant à l'utilisateur de définir des modèles d'exposition ou de programmer l'ensemble du processus. Le logiciel génère également des diagnostics à l'écran, donnant à l'utilisateur une rétroaction sur l'état du modèle et des composants ainsi qu'une analyse de l'image résultante. En résumé, l'équipement de photorésistance TEL ACT 12 est un procédé très précis et efficace de fabrication de circuits intégrés complexes. En combinant une source lumineuse, une optique, un système de distribution de pulvérisation, des contrôleurs et des logiciels, l'unité est en mesure de fournir des résultats de haute qualité et cohérents.