Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #293610442 à vendre en France
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ID: 293610442
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Chiller
Chemical box
Power box
Temperature and humidity controller
Signal tower: (3) Lights
Open cassette carrier
Bake board type / Cooling board type: Proximity, Spacer
Solvent supply method: Canister automatic switching, 10 L
DEV Cup: PP+POM
Modules:
I/F
ADH
(3) TRS
(3) CPL
(6) LHP
CWH
WEE
(4) STG
DEV Nozzle:
E2 Nozzle
Rinse
Back rinse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésistant développé par TEL, l'un des principaux fabricants d'équipements de fabrication de semi-conducteurs dans le monde. Le système est capable de créer des circuits et d'autres motifs sur des plaquettes avec une résolution de 5µm. Il s'agit d'une unité de photorésistance multi-motifs qui peut modeler plusieurs couches en une seule exposition. TEL ACT 8 a une grande capacité de plaquette, de 12 « à 24 », et est capable de traiter simultanément de grands volumes de substrats. Sa machine optique de pointe permet un travail précis et uniforme. Son scanner haute vitesse peut déplacer les substrats plus rapidement et avec une plus grande précision que les modèles précédents. Il dispose d'une technologie de dosage plasma précise pour une meilleure précision de positionnement des arêtes et peut accueillir une programmation d'arc à grande vitesse pour un dosage précis. L'outil TOKYO ELECTRON ACT 8 dispose également d'excellentes capacités d'alignement de plaquettes, grâce à son atout d'ouverture numérique avancé. De plus, les plaquettes peuvent être inspectées de plus près par sa microscopie optique intégrée, qui peut être utilisée pour détecter des défauts ou observer la surface du substrat. Le modèle offre également une faible contamination des particules et un contrôle étanche des particules. Il est équipé d'un détecteur de particules à balayage automatique pour assurer un environnement plus propre et pour surveiller la taille et la quantité de particules présentes dans l'équipement. Avec le détecteur de particules, le système peut également réduire la quantité de contamination causée par l'humidité et l'air de la salle blanche. En outre, l'unité est équipée d'une machine de contrôle de température qui peut assurer un environnement stable pour le traitement du produit et réduire la dérive thermique pendant l'exposition du produit. Cette caractéristique minimise également le retrait du film et augmente les rendements de production. L'outil TOKYO ELECTRON ACT 8 est une solution idéale pour certains des procédés photorésistants les plus avancés de l'industrie des semi-conducteurs. Ses capacités de résolution supérieures et son contrôle étroit de l'épaisseur du film en ont fait l'un des systèmes photorésistants les plus fiables et cohérents disponibles. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, ACT 8 est un excellent choix pour tous les besoins en photorésist dans la production de puces intégrées.
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