Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9113642 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance pour la fixation de surfaces de couches minces. Il est conçu pour le traitement lithographique de précision dans la recherche et le développement de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, pour la production de nanostructures complexes avec de petites tailles de caractéristiques et des niveaux élevés de répétabilité. Le système est équipé d'une unité de lithographie à projection compensée en angle de 8 pouces (ACPL), permettant l'imagerie sur une large gamme de matériaux de substrat sans distorsion ou déformation du motif. Il dispose d'une machine optique avancée qui combine des lentilles spécialisées et des algorithmes de traitement numérique pour projeter avec précision une large gamme de motifs structurés à haute résolution. L'outil est construit sur une plate-forme optimisée pour l'interopérabilité multi-parties, permettant l'intégration avec une gamme de socles de substrat, équipement de stand d'essai, et systèmes robotisés. Cet atout intégré peut fournir des solutions d'imagerie sophistiquées et de haute précision dans des domaines tels que la micro-optique, les dispositifs micro-photoniques et les motifs jusqu'à l'échelle du nanomètre. TEL ACT 8 est également capable de traiter le débogage avec l'évaluation intégrée des images in situ. Cette boucle de rétroaction du cliquetis au résultat permet une optimisation plus rapide du processus de cliquetis. L'élimination des couches de résines résiduelles et d'autres matériaux déposés est réalisée à l'aide d'un modèle de nettoyage chimique humide. L'équipement est également équipé d'une gamme de fonctionnalités axées sur les applications, y compris des techniques avancées de balisage telles que la lithographie à l'échelle gris, la lithographie sans masque et l'exposition sélective directionnelle. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ACT 8 est un système de résistance photosensible fiable et performant pour des technologies de pointe de petites tailles. La conception intégrée et les applications améliorées de l'unité garantissent une grande répétabilité, flexibilité et facilité de manipulation pour ses utilisateurs.